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主题：【求助】面扫描和电子探针点分析的区别

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qianfenling
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发表于：2008/11/03 22:10:36 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
面扫描和点分析一样不？有什么区别么？点分析是电子探针测试的么？
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2009/1/19 16:34:51 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
面扫描是电子束在样品上微小区域以水平+垂直两个方向上扫描（类似电视机图像），从而获得探针图像（背测样品的成份或形貌图）。
点分析是电子束聚焦成一个点打在样品上，就好象电视机无水平和垂直扫描一样只能形成一个亮点，从传感器获得信号，进行该点上元素分析和测量。
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2009/1/19 16:35:23 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
面扫描是电子束在样品上微小区域以水平+垂直两个方向上扫描（类似电视机图像），从而获得探针图像（背测样品的成份或形貌图）。
点分析是电子束聚焦成一个点打在样品上，就好象电视机无水平和垂直扫描一样只能形成一个亮点，从传感器获得信号，进行该点上元素分析和测量。
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