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主题：【分享】ICP-OES, ICP-MS, GDMS测试结果对比

浏览0 回复3 电梯直达
jchencs
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发表于：2008/11/28 10:36:35 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
附件是本人前不久在荷兰Amsterdam主办的CrystalClear Workshop发表的一篇论文海报。关于太阳能级硅料中杂质测试方法的讨论。希望对大家有帮助，另外，请尊重知识产权，未经本人同意，不要到别处转载。

Comparison of Impurity Testing Methods for UMG-Si
附件：
Comparison of Impurity Testing Methods for UMG-Si
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jackcong
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2008/11/28 15:07:09 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还有更详细的没？
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jchencs
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2008/11/28 16:11:42 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jackcong 发表:
还有更详细的没？


有全文，但还没有发表，所以没法现在公布， 但基本数据，结论都在这个海报里了。
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luorry
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2009/7/6 18:09:19 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
UMG的不均匀性确实很大，跟样品经过的各种处理都有关系。
取样位置，取样的代表性等问题都是会影响检测结果的。

GDMS一般检测前样品表面会被清洁干净，分析的时候会让离子束预溅射一段时间。这样做分析的是样品体内的杂质，而表面的杂质基本都被去掉了。
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