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主题：【资料】等离子物理

浏览0 回复11 电梯直达
zouhua1210
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发表于：2008/12/09 12:11:27 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一共6章，关于等离子物理的介绍，讲得浅显和具体
第一章  等离子体特性及其应用技术
  目前，低温等离子体技术已在材料、微电子、化工、机械及环保等众多学科领域中得到较广泛地应用，并已初步形成一个崭新的工业-等离子体工业。例如，在材料学科中，采用等离子体物理气相沉积技术和化学气相沉积技术可以合成一些新型功能薄膜材料；在微电子工业中，采用等离子体刻蚀技术可以对超大规模集成电路进行加工；在化工学科中，采用等离子体聚合技术，可以制备出一些高分子薄膜材料。可以说，“等离子体”这个名词与现在的高新技术领域已联系在一起。低温等离子体技术之所以得到如此广泛地应用，在很大的程度上得益于人们对低温等离子体的物理过程以及等离子体与固体材料表面相互作用机理等方面的研究。本章在具体讨论等离子体与固体表面的相互作用过程之前，先对等离子体的概念﹑特性及其应用技术做以简单介绍。

等离子体物理
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等离子体物理
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2008/12/9 14:06:17 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很好的基础资料，正好可以学习学习，谢谢楼主
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atlas
atlas
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2008/12/10 9:21:49 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好资料,微电子工艺中有用于等离子体清洗,正好仔细看看,谢谢!
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海上生明月
jgdsw
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2008/12/11 22:03:13 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不错,好像还能看懂一些,谢谢
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chenliangqs
chenliangqs
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2009/4/2 20:59:03 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好东东，非常感谢！
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bach_
bach_
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2009/5/7 23:17:33 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好东东 谢谢
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lizj145
lizj145
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2010/7/26 20:57:23 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢啦谢谢啦楼主！！
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翠湖园
hhx050
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2010/7/27 15:20:37 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
资料内容不错，感谢楼主上传
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man50
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2010/9/12 19:13:32 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢楼主与我们分享
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莞城.XiShui
chenboyou
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2010/10/6 19:03:09 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
“一共6章，关于等离子物理的介绍，讲得浅显和具体”
是不是以后还有。
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耗材配件专员
xueyunni
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2010/11/8 17:20:02 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢楼主 正好再找
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