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Developments of plasma etching technology for fabricating semiconductor devices

Author(s): Abe H (Abe, Haruhiko)1, Yoneda M (Yoneda, Masahiro)2, Fujlwara N (Fujlwara, Nobuo)2 
Source: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS    Volume: 47    Issue: 3    Pages: 1435-1455    Part: Part 1    Published: MAR 2008 
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