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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】日本电子的JSM6390LV，在VIEW状态图像不清晰！

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d4100

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发表于：2009/03/13 21:28:51 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

如题，无图。。。
症状：在VIEW状态下，不清晰，圆形视野的圆形是模糊的，就像焦距没对好一样。

过程：小弟新手，之前在VIEW状态下还是很清晰的。在尝试在高倍数下观察一个粉末样品后，返回VIEW状态就不清晰了。中间调过光阑、使用过自动聚焦、调过像散。

CALL工程师，描述症状后，工程师的意思是光阑歪了，让在15000倍下调可动光阑摇摆器。自己尝试调了下。。。怎么调也不行，VIEW还是不清晰。

求救各位电镜高手，光阑歪了调光阑，这个有什么心得诀窍没有？

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2009/3/19 19:44:31 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

在VIEW模式下图象模糊，既然已经调整了物镜光阑后仍没有变化，极有可能使物镜极靴下表面的低真空用的压差光阑污染，在VIEW时放大倍率最小时电子束受到干扰，可以将样品室放气后清洁压差光阑。也有可能是物镜下的BEI探测器信号线的位置不好，请确认上述位置，如有疑问可以发E-mail给我(r51755@yahoo.com.cn)

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huangtao0307

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2009/3/26 11:55:13 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

感覺是物鏡光欄有點偏

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d4100

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2009/3/26 14:20:44 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 huangtao0307 发表:
感覺是物鏡光欄有點偏

工程师也是这个意思

但是我自己调了下光阑

就是物镜光阑X和Y方向，附件内红线部分（图是安装时候的图，安装好后，桌子是挨着电镜的，图里面）

还是不清晰，不知道哪出了问题

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d4100

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2009/3/26 14:31:46 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

实验室网速太慢了，图上不上来。

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chasedream

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2011/11/8 9:21:15 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

物镜光阑在哪个位置？

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maxin2009

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2011/11/10 22:23:59 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

第一，用慢扫看看BEI图像清不清楚，如果BEI图像清楚，而二次电子不清楚，请联系厂商。
第二，将物镜光阑调至0号，0号在1号下边，方法如同将物镜光阑由2号调至1号，只不过1号调0号時需要多拉点1距离。0号光阑就是将物镜光阑撤出，如果这時有图像了，就是物镜光阑歪了，
第三，物镜光阑歪了，按理说VIEW状态下，也就是低倍数下应该是看不出来的，如果物镜光阑歪得厉害，图像有一部分应该是黑的，而且象散消不掉
第四，“在尝试在高倍数下观察一个粉末样品后，返回VIEW状态就不清晰了。中间调过光阑、使用过自动聚焦、调过像散”----不会是粉末没粘牢吧。。。吸进镜筒里了，挡电子束了？如果SEI,BEI都不清楚，就要往电子束那考虑了，如果0号光阑下仍然不清楚，请看一下灯丝电流LC大小，反正能考虑的都要考虑到呗

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fengyonghe

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2011/11/12 23:39:16 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 d4100(d4100) 发表:
如题，无图。。。
症状：在VIEW状态下，不清晰，圆形视野的圆形是模糊的，就像焦距没对好一样。

过程：小弟新手，之前在VIEW状态下还是很清晰的。在尝试在高倍数下观察一个粉末样品后，返回VIEW状态就不清晰了。中间调过光阑、使用过自动聚焦、调过像散。

CALL工程师，描述症状后，工程师的意思是光阑歪了，让在15000倍下调可动光阑摇摆器。自己尝试调了下。。。怎么调也不行，VIEW还是不清晰。

求救各位电镜高手，光阑歪了调光阑，这个有什么心得诀窍没有？

你在高倍下观察是清楚的，回到VIEW状态不清楚，这时应该将束斑调大一些就好了。因为VIEW状态扫描范围变大，还用那么小的束斑实际两个像元点之间是不连续的。

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