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主题：【求助】请教：用波长色散XRF测量膜厚的原理是什么？

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xiaomutou
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发表于：2009/04/01 19:54:56 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
波长色散XRF可以测量薄膜的厚度，其中的原理是什么呢？
再有我测试的为ZnO薄膜，选择薄膜元素为Zn、O测试时，测出的膜厚为150微米，而薄膜的实际厚度仅为几百纳米。去掉氧计算时，厚度反而正常了。

以上问题不解，望大家指教。谢谢！
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2011/6/23 14:37:52 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个问题顶上来让大家分析一下。我也想知道为什么。
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albert800922
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2011/6/23 16:15:31 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiaomutou(xiaomutou) 发表:
波长色散XRF可以测量薄膜的厚度，其中的原理是什么呢？
再有我测试的为ZnO薄膜，选择薄膜元素为Zn、O测试时，测出的膜厚为150微米，而薄膜的实际厚度仅为几百纳米。去掉氧计算时，厚度反而正常了。

以上问题不解，望大家指教。谢谢！


薄膜厚度是通过什么方法计算出来的。
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bennaiyou
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2011/6/23 21:26:30 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不明白这个领域，来学习。
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XRF_INFO
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2011/6/24 0:30:41 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiaomutou(xiaomutou) 发表:
波长色散XRF可以测量薄膜的厚度，其中的原理是什么呢？
再有我测试的为ZnO薄膜，选择薄膜元素为Zn、O测试时，测出的膜厚为150微米，而薄膜的实际厚度仅为几百纳米。去掉氧计算时，厚度反而正常了。

以上问题不解，望大家指教。谢谢！


原理自己去看资料吧，不太好说明白。
你测ZnO薄膜，肯定只能选Zn元素。O元素使用XRF测量不准确，肯定就算不准确。
测量薄膜有两种方法：1、发射方法；2、吸收方法。从LZ说明，应该使用的是发射方法，测量镀层里的元素。如果测量衬底材料的元素，是吸收方法。
前提：镀层不是无穷厚样品，X射线要能穿透镀层。
该帖子作者被版主 albert800922加 3积分， 2经验，加分理由：应助
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金水楼台先得月
albert800922
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2011/6/24 23:09:20 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 XRF_INFO(xrf-info) 发表:
原文由 xiaomutou(xiaomutou) 发表:
波长色散XRF可以测量薄膜的厚度，其中的原理是什么呢？
再有我测试的为ZnO薄膜，选择薄膜元素为Zn、O测试时，测出的膜厚为150微米，而薄膜的实际厚度仅为几百纳米。去掉氧计算时，厚度反而正常了。

以上问题不解，望大家指教。谢谢！


原理自己去看资料吧，不太好说明白。
你测ZnO薄膜，肯定只能选Zn元素。O元素使用XRF测量不准确，肯定就算不准确。
测量薄膜有两种方法：1、发射方法；2、吸收方法。从LZ说明，应该使用的是发射方法，测量镀层里的元素。如果测量衬底材料的元素，是吸收方法。
前提：镀层不是无穷厚样品，X射线要能穿透镀层。

其实测Zn，可以换算成ZnO
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bennaiyou
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2011/6/26 16:03:38 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
换算是不是存在误差。
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azuoin
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2014/4/3 15:52:49 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ZnO厚度通常不是用椭偏仪测量么？XRF膜厚测量我也不懂，学习
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