灵敏度
IUPAC推荐为：分析信号随分析物浓度变化的速度。
特征浓度（ Characteristic Concentration）
为被分析元素产生 0.0044 (1 % )吸光度所需浓度。不同的仪器，特征浓度不一样。可按下列公式计算：

Char. Conc. = (标样浓度 * 0.0044) / 平均吸光度
（通常在校正曲线线性范围内测，如<0.2ABS）
特征质量（ Characteristic Mass ）
在石墨炉分析中，按峰高计算，被分析元素产生0.0044吸光度所需质量（以皮克为单位）。可按下公式计算：Char. Mass = (标样浓度 ×0.0044× 进样体积) / 标样吸光度
特征质量 (1)
定义:

• 灵敏度• 当产生1% 吸收时，分析物的浓度
检出限(Detection Limit)
相对于99%的置信度元素，在溶液中可被检出的最低浓度。具体是对空白或接近空白的溶液进行多次测量，3倍的标准偏差即是检出限。这是仪器所能检出的高于背景噪声的最低限。
检出限（Detection Limit）和测量下限（Determination Limit）：英文检写都是D.L..测定下限是指有一定准确度要求，可进行定量测定的分析元素的最小浓度（或质量）。而检出限带有可定性检出的最小浓度（或质量）的含义

精密度
精密度：是指多次测定结果的重复性
精密度常以标准偏差（SD）和相对标准偏差（RSD）来量度：
标准偏差（Standard Deviation ）

其中： n = 测量次数,Abs=吸光度
由于浓度不同，更多地用相对标准偏差来表示结果的精度，也称变异系数，即RSD
 %RSD=标准偏差（SD）×100％÷平均吸光度
而对于标准偏差这个概念，在表示对从仪器中所的结果的置信度方面是非常用用的。例如：如果某人的分析结果是5ppm，计算出的SD是0.1ppm，那么对于95％的置信度，（即2s）结果应该是：5.0±0.2ppm，即4.8~5.2ppm.因此为了提供更精确的范围，就必须改善精密度。
准确度
准确度：是指测定值和真值的差别
好的精度不等于准确度好，而准确度好必须有好的精度
判断准确度好坏的三种实验：
（1）标样对照实验
（2）方法对照实验
（3）标准回收实验：在样品的前处理前，先在试样中加入已知量的标准分析元素（其状态也应与试样中待分析的元素相近）。在进行完整分析过程后，复核回收百分数。，根据回收率接近100％的程度，检验方法的可靠性。
在原子吸收分析法进行试样分析后，实验结果的表示应包括：浓度（或质量）数据，精密度和误差范围三项内容。
实验结果应表示为：
平均值±3s，99％的置信度
影响特征质量和检出限的因素
分析物
• 波长
• 光路中的长度
• 狭缝宽度
• 光源的类型
• 基体 (包括基体改进剂)
•背景校正
• 检测器的类型
•方法参数
影响检出限的因素
原子化速率的波动
• 石墨管壁的发射
• 大气、惰性气体和分析物的吸收
• 光源的噪音
• 检测器的噪音
• 光路系统不干净
特征质量和检出限
特征质量
在低吸收(0.100-0.200 abs)时进行测量
决定最佳的工作范围 (20-200x)
仪器性能的检查
数值越低，表明：
灵敏度越好
越好的精确度
更好的准确度
低的检出限
检出限
测量总的噪音
最小的可检出量
MDQ= 10x DL
并不保证好的精度
与特征质量相比，更多取决与基体和分析方法