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X射线衍射仪（XRD）
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主题：【求助】为什么掠入射X射线扫描和常规扫描的峰不在一个位置啊？

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yan_huo
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发表于：2009/12/15 16:25:57 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的样品是单晶si上镀的sic薄膜  用3°的掠入扫描基片si的峰在56左右  ，，用常规模式，就是测粉末的那种，测得基底的峰在69左右。  这有问题吗 ？  还有一个问题，单晶硅做xrd能有多个衍射峰还是就一个衍射峰啊？  求高人帮忙。
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yan_huo
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2009/12/15 18:48:22 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
半天了  也没人帮忙啊  急啊  版主大人呢
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danyan0629
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2009/12/16 18:15:49 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我只能回答，单晶Si的衍射峰有多个，但是来源于互相平行的表面。例如（100）晶向的单晶Si，其XRD 2theta-Omeag扫描可以得到（100）（200）（400）等的衍射峰。
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danyan0629
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2009/12/16 18:22:11 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
至于GIXRD时Si在56°是有可能的。我不知道测试人员具体是怎么做的，但是如果之前不对设备进行校准的话，2theta的角度是有可能偏移的。以上仅为个人观点，我对GIXRD理解不够透彻，仅供参考。
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XRD
huangjw
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2009/12/16 18:27:38 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
按照常规衍射，那么，参与衍射的面只是那些与样品表面平行的面（或者近似平行）。如果常规衍射时，只有69度的峰，说明Si是按（400）面切的，即（100）。现在，采用掠入射衍射，则衍射晶面就不是与样品表面平行的面，而一个与样品表面存在一个夹角的面。
在56度出现一个峰，是（311）面的。说明满足衍射条件的是（311）面。这两个面之间的夹角是25.25度。而56度的一半是28度，减去你掠入射角3度，就是25度。这里都没有考虑小数后面的数字了。

如果严格地按某个晶面切Si，那么在常规衍射中就只会出现一个峰，但是，如果不是这样，可能会出现几个峰。

我的几何太差，不知分析对否？
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dfnt11
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2009/12/16 19:29:54 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
至于GIXRD时Si在56°是有可能的。我不知道测试人员具体是怎么做的，但是如果之前不对设备进行校准的话，2theta的角度是有可能偏移的。以上仅为个人观点，我对GIXRD理解不够透彻，仅供参考。
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yan_huo
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2009/12/21 10:27:25 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 XRD(huangjw) 发表:
按照常规衍射，那么，参与衍射的面只是那些与样品表面平行的面（或者近似平行）。如果常规衍射时，只有69度的峰，说明Si是按（400）面切的，即（100）。现在，采用掠入射衍射，则衍射晶面就不是与样品表面平行的面，而一个与样品表面存在一个夹角的面。
在56度出现一个峰，是（311）面的。说明满足衍射条件的是（311）面。这两个面之间的夹角是25.25度。而56度的一半是28度，减去你掠入射角3度，就是25度。这里都没有考虑小数后面的数字了。

如果严格地按某个晶面切Si，那么在常规衍射中就只会出现一个峰，但是，如果不是这样，可能会出现几个峰。

我的几何太差，不知分析对否？


可是我算的400 面和311面得夹角并不是25度啊，你怎么算的是25度呢
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大陆
handsomeland
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2009/12/21 11:24:42 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yan_huo(yan_huo) 发表:
可是我算的400 面和311面得夹角并不是25度啊，你怎么算的是25度呢

因为你算错了。
//我算的结果也是25度。
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yan_huo
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2009/12/21 15:17:28 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不会吧 我算了几遍了 也算不出来是25度啊  我怎么算出来是76.7度呢
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chengjingbao
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2009/12/21 15:34:07 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yan_huo(yan_huo) 发表:
不会吧 我算了几遍了 也算不出来是25度啊  我怎么算出来是76.7度呢


贴出计算过程不就得啦！
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yan_huo
yan_huo
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2009/12/21 15:48:15 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那位仁兄能给个过程？
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手机版： 【求助】为什么掠入射X射线扫描和常规扫描的峰不在一个位置啊？
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