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主题：【求助】束斑大小的问题

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rainflying666
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发表于：2009/12/26 14:15:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教大家，我想知道EDS点打的时候能打多大的面积？应该是束斑大小吧，那这个束斑大小的数据我在哪里可以看到数值呢？谢谢！
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2009/12/26 14:54:15 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看下面的网页：
http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20090216/1739155/
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2009/12/28 11:11:15 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢！不过那个计算电子束直径的公式看不懂，有好几个参数都不知道是什么，能不能麻烦专家讲解一下呢？
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2009/12/29 1:27:39 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

该帖子作者被版主 madprodigy加 5积分， 2经验，加分理由：积极应助
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rainflying666
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2009/12/29 8:25:14 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢专家详细的讲解
我是电子束直径的大小那个公式看不懂
电子束直径D2＝CS2α6+CC2α2（△V/VACC）2+0.4*I/βα2
如有时间，麻烦专家讲解一下哦，非常感谢！
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2009/12/30 2:37:38 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子束直径D2＝CS2α6+CC2 α2（△V/VAcc）2+0.4*I/βα2
公式使我们更好的理解电子束直径与电镜各有关变量之间的关系。
D：电子束斑直径    Cs：物镜球差系数      α：物镜张开半角rad（弧度）      CC：物镜色差系数
△V/Vacc：高压不稳定度    β：电子枪亮度  I:束流
△V：高压波动值    Vacc：高压    β=A/cm2sr 
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