主题：请教薄膜样品制成透射样品方法

原文由 hughligq 发表:
两位真的让人羡慕，认识那样多的名人，我可惨了，名人不认识 ，周围连个请教的人也没有，所以只能时常让大家挂心了。

原文由 oldtiger 发表:
碰巧看到下面的帖子：


我要TEM的目的就是为了能看到5nm左右的孔,因此做TEM的标尺在50nm以下,当然20nm就更好些.样品是在硅片上的一层大约1000nm厚的一层膜.(比金属硬).我拿了样品给测试中心的人看,想问问,这样的样品怎么测,要多少钱.他竟然说这一个这样的样品至少需要1万块钱,我以为只要600~800就可以搞定的,差距太大了.测试中心的收费标准是400元/小时,照这样算的话,测一个这样的样品就至少要20多个小时啊,这可能吗?我是不是被人家忽悠了撒.请作过的作过的老师同学估计一下,做一个这样的样品需要多少时间.

原文由 oldtiger 发表:
以下是回帖：

制样还要钱的，你这样品制样比较困难。
其实你只看孔的大小，不看深度的话不如做afm
方便极了，也许都不用花钱。

不知道你样品中孔的密度有多大，5nm的孔只能上高分辨来看，如果孔的密度不大的话，
从样品中找到一个不是缺陷的孔可不是一两个小时能完成的。。


看到孔就ok么，还是有啥特殊的要求啊？
如果只是看孔，从薄膜上刮点碎屑下来，研磨一下用微删捞一下看看。5nm不难看把。这样600到800够了。
薄膜做TEM样品制备麻烦些，砂纸磨还得离子减薄，做个样品就得不少钱。

原文由 hughligq 发表:
他是想观察一下薄膜的断面,开始是镀在玻璃片上的.
这样再制成样品是否真的很难?

原文由 shxie 发表:

原文由 hughligq 发表:
他是想观察一下薄膜的断面,开始是镀在玻璃片上的.
这样再制成样品是否真的很难?

我了解的薄膜一般都镀在硅片上，玻璃片或许也能一样处理，我上载的那个资料：透射电镜样品制备课件－pangzi提供里有专门的讲解。
http://www.instrument.com.cn/show/download/shtml/011603.shtml
制样的确比较复杂：先粘后裁，然后钉薄，最后离子减薄。如果必要再抛光。
但是如果有经验我觉得应该用不了那么长时间。

原文由 oldtiger 发表:
他是想看薄膜的断面阿，这样制样恐怕不行。

原文由 hughligq 发表:
薄膜样品，镀在玻璃片上的硅薄膜，怎样才能把其制成透射样品。