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主题：【求助】JEOL5600 抽真空问题

浏览0 回复12 电梯直达
seal007
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发表于：2010/01/14 14:50:41 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：10积分 状态： 已解决
正常情况下JEOL5600抽真空时指示灯会一直“闪”，直至机械泵扩散泵工作都完成后抽真空完成，指示灯常亮。近日发现抽真空时该指示灯不“闪”机械泵运作但真空抽不起来，事实上开机时抽真空的指示灯就长亮了（正常开机时会“闪”）！
急盼各位大虾帮忙啊！！！
推荐答案：syning90回复于2010/01/14
DP泵一般很耐用的，比TMP泵要强，叫工程师过来确认下故障吧，也可能只是下面的加热部分有问题，这样价格不会很高，或者时间长了，油有问题了
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syning90
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2010/1/14 15:10:54 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这种情况楼主要注意一下，机械泵抽的时候能否转换到DP泵上，如果抽了很久，DP泵都不开始工作，说明真空漏的很厉害了。反之，如果DP泵能工作就说明真空漏的还不严重，可以给密封圈用酒精清理一下再涂些真空脂什么的，再试一试。

或者检查一下整个真空系统，包括泵，管道有什么异样或者漏气的地方，或者看看机械泵是不是油太脏了或者油不够了。如果实在自己排除不了故障就只能求助厂家工程师了
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seal007
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2010/1/14 15:21:14 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扩散泵坏了！换这个要多少钱呀？
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qcz9999
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2010/1/14 16:27:59 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空系统若没问题检查一下传感系统
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syning90
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2010/1/14 16:34:04 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 seal007(seal007) 发表:
扩散泵坏了！换这个要多少钱呀？

楼主怎么判断的呢？DP泵价格可能会比较高，但也要看坏的程度，像这样比较老的机型，还有修的余地
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syning90
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2010/1/14 16:35:51 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
DP泵一般很耐用的，比TMP泵要强，叫工程师过来确认下故障吧，也可能只是下面的加热部分有问题，这样价格不会很高，或者时间长了，油有问题了
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Frinight
hui7808
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2010/1/14 16:53:51 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 syning90(syning90) 发表:
DP泵一般很耐用的，比TMP泵要强，叫工程师过来确认下故障吧，也可能只是下面的加热部分有问题，这样价格不会很高，或者时间长了，油有问题了

表示赞成！扩散泵很抗用，维修顶多就是换油！
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tzkjl
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2010/1/14 17:33:34 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议1.用电离规真空计检查一下系统的真空度，如果基本正常（10-3、-4Pa），说明是指示灯坏了，换一个就好；
2.如果不正常，看DP有否启动；如能启动，而真空度不好，则检查DP;(有时加加油就好)。如不启动，就检查前级机械泵或罗兹泵部分，包括管道、泵阀、配件，是否有泄漏，。。。。。
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lemongao
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2010/1/14 17:53:49 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那就要考虑是不是控制板或者是分子泵的问题了
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ynkm2010
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2010/1/15 9:48:29 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查清理机械泵
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驰奔
srd2009
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2010/1/15 9:54:18 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 seal007(seal007) 发表:
扩散泵坏了！换这个要多少钱呀？

如果真换扩散泵，我猜连工带料怎么也得5万亲爱的人民币吧！
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