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主题：【求助】请教：仪器问题？

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发表于：2010/06/12 10:41:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
philips tecnai 10  真空问题

最近我们的TEM真空老是上不去，显示“column valves closed”，请问各位专家该如何解决？？
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2010/6/12 18:19:57 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
怎么没人帮我？
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changliboli
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2010/6/16 22:56:56 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这是sem专栏！嘿嘿！
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2010/6/18 9:23:41 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 lwjxzj(lwjxzj) 发表:
philips tecnai 10  真空问题

最近我们的TEM真空老是上不去，显示“column valves closed”，请问各位专家该如何解决？？


我对Tecnai不是很熟悉，但是你说的这个Valve应该是指的Column和Chamber之间的Valve，真空达不到时，是不能打开的，所以你也没法Beam On...一般而主TEM的Column也是分好几级真空的，哪个部分上不去呢？要是确定不是前级的问题，直接叫厂商吧，离子泵一般客户是玩不转的
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2010/6/18 9:24:42 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 changliboli(changliboli) 发表:
这是sem专栏！嘿嘿！


TEM和SEM是很相通的。。。指的是机械和控制这一块，虽然原理大不一样
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