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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：关于sem放大倍数的疑惑

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daqiang

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发表于：2005/09/16 10:16:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我想大家用的sem的最高放大倍数一般都可以达到30万倍。对这么高的放大倍数我感觉很疑惑，我们都知道人眼的分辨率是0.2mm，光学显微镜的分辨率是0.2微米，那么光学显微镜的有效放大倍数就是0.2mm/0.2微米=1000。
假设你所操作的sem的最佳分辨率为5nm,那么该sem的最高有效放大倍数应该是0.2mm/5nm=40000倍，为什么我们所使用的sem的性能指标上都表明可以放大几十万倍呢？

根据SEM放大的原理，确实也可以放大到几十万倍。是不是没有什么意义？
只是一点疑惑。

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2005/9/16 10:19:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

0.2mm的对人眼来说只是一个点啊。如果2mm的话，稍微有点细节就能看见了。呵呵。

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shxie

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2005/9/16 10:52:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

放大倍数是理论放大倍数，如果你的分辨率上不去，这些都是一个简单的指标罢了。
就现在的情况，钨灯丝一般到8万可以看的清楚，LaB6据说到10－15万左右吧，场发射最高能到90万，一般能在50万看清楚。这个看清楚就是能分辨清楚最近两个颗粒的界限。
看到上面的比较，你就知道，分辨率和最小束斑的大小关系密切，而在放大倍数达到一定程度之后，就没多大关系了。

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SeanWen

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2005/9/16 11:02:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 daqiang 发表:
我想大家用的sem的最高放大倍数一般都可以达到30万倍。对这么高的放大倍数我感觉很疑惑，我们都知道人眼的分辨率是0.2mm，光学显微镜的分辨率是0.2微米，那么光学显微镜的有效放大倍数就是0.2mm/0.2微米=1000。
假设你所操作的sem的最佳分辨率为5nm,那么该sem的最高有效放大倍数应该是0.2mm/5nm=40000倍，为什么我们所使用的sem的性能指标上都表明可以放大几十万倍呢？

根据SEM放大的原理，确实也可以放大到几十万倍。是不是没有什么意义？
只是一点疑惑。

厂商说的几十万倍是用标准样品，经验非常丰富的技术人员，在一定环境下。用户观察的时候由于各种因素的制约，一般做不到。

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darkeye

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2005/9/27 16:09:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

厂商说的最高放大倍数是指光学系统的设计值，以光学显微镜为例，他的设计放大倍数值几乎可以是无限的，但是当放大到3000倍的时候，就会发生自然光的衍射，不能正常工作，也就决定了光学显微镜的分辨率。
电子显微镜的放大倍数设计值也可以是无限的，分辨率会受到各种因素的限制。

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vilin

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2012/3/19 22:59:17 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

电镜的有效放大倍率是指显示在电脑屏幕上的照片尺寸与电子束打在样品上的尺寸的比，这样就好理解了

PS: 现有日立电镜和EDAX能谱，有需要的可以联系
QQ:1725793440

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2012/3/19 23:00:21 Last edit by vilin

fengyonghe

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2012/3/21 0:07:27 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

看似一个老生常谈的问题，可认识上还是不统一。张大同的书第一页上是这样论述的：2. 有效放大倍率
利用显微系统把细节放大，以满足人眼分辨率可接受的程度，该放大率称为有效放大率Mc
Mc=Δrc／Δr0
式中， Δrc为人眼分辨率;Δr0为仪器分辨率。
上式建立了仪器放大倍率与分辨率的直接关系。当分辨l 00nm 细节时，需用2000倍，这是光学显微镜的有效放大率；当分辨5 nm 细节时，需用40000倍，这是电子显微镜的有效放大率。可见仪器的分辨率越高，必须利用较高的放大倍率观察细节。
第24页有关于虚假放大倍率的论述。

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2012/3/23 0:16:44 Last edit by fengyonghe

srd2009

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2012/3/22 13:59:55 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
看似一个老生常谈的问题，可认识上还是不统一。张大同的书第一页上是这样论述的：2. 有效放大倍率
利用显微系统把细节放大，以满足人眼分辨率可接受的程度，该放大率称为有效放大率Mc
Mc=Δrc／Δr0
式中， Δrc为人眼分辨率;Δr0为仪器分辨率。
上式建立了仪部放大倍率与分辨率的直接关系。当分辨l 00nm 细节时，需用2000倍，这是光学显微镜的有效放大率；当分辨5 nm 细节时，需用40000倍，这是电子显微镜的有效放大率。可见仪器的分辨率越高，必须利用较高的放大倍率观察细节。
第24页有关于虚假放大倍率的论述。

这个问题，到光学显微镜版面那边看看，对有效放大倍数歪的也够离谱！

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