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主题：【求助】电镜真空度问题

浏览0 回复7 电梯直达
liyongdeng
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发表于：2010/02/02 09:49:02 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近几天电镜低真空突然小于预设值70Pa,只有10Pa左右,哪位高手指点一下可能是哪里出了问题.
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huangtao0307
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2010/2/3 8:22:34 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
先查下有沒有可以漏氣吧.
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ventyxu
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2010/2/3 9:49:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不知是否是针阀的问题。
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liyongdeng
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2010/2/3 10:49:45 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢了.经过检查发现是后面的水没了,现在正常了.
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syning90
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2010/2/3 13:43:08 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
小于预设值不会是漏气的
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lysldl
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2010/2/8 20:00:57 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主把问题自己解决了
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august001
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2010/2/9 16:54:30 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
后面的水没了与真空度显示有误有关系吗?
真空度的显示与真空計的检测密切相关,針閥的运转,光耦的控制,包括真空控制電路板的线路控制都有关系.
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fengyonghe
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2010/2/9 17:32:08 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 august001(august001) 发表:
后面的水没了与真空度显示有误有关系吗?
真空度的显示与真空計的检测密切相关,針閥的运转,光耦的控制,包括真空控制電路板的线路控制都有关系.

不是显示有误，显示是正常的。没有水的补充压力会下降。
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