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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【讨论】关于聚光镜电流和束斑直径的问题？

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cndy_fen

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发表于：2008/12/19 17:39:48 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

降低聚光镜电流来增加电子束束斑直径，怎么理解？原理是怎样的？
听我们工程师说聚光镜电流是通过调节spotsize来实现的，对吗？

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2008/12/21 23:17:06 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 cndy_fen 发表:
降低聚光镜电流来增加电子束束斑直径，怎么理解？原理是怎样的？
听我们工程师说聚光镜电流是通过调节spotsize来实现的，对吗？

答：不知你是否看过任何一本有关扫描电镜的书，你的问题可以在书中得到圆满答案。我只能说一下结论性的东西。你工程师说得很对。聚光镜（电磁透镜）的电流产生一个聚焦磁场，电子在磁场中通过受电磁力的偏转会聚成电子束束斑。调节spotsize实际上我们调节的是聚光镜电流。较小的聚光镜（电磁透镜）的电流，产生较弱的聚焦磁场，因而得到较大的spotsize。对钨阴极热发射电子枪，不考虑像差他们之间的关系可表达为：d²=0.4i/Bα²。d:束斑直径 i:束流 α：张开半角，张开半角大小受聚光镜电流控制 B:亮度。说到这我想应该可以了。

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2009/10/27 22:51:57 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe 发表:
原文由 cndy_fen 发表:
降低聚光镜电流来增加电子束束斑直径，怎么理解？原理是怎样的？
听我们工程师说聚光镜电流是通过调节spotsize来实现的，对吗？

答：不知你是否看过任何一本有关扫描电镜的书，你的问题可以在书中得到圆满答案。我只能说一下结论性的东西。你工程师说得很对。聚光镜（电磁透镜）的电流产生一个聚焦磁场，电子在磁场中通过受电磁力的偏转会聚成电子束束斑。调节spotsize实际上我们调节的是聚光镜电流。较小的聚光镜（电磁透镜）的电流，产生较弱的聚焦磁场，因而得到较大的spotsize。对钨阴极热发射电子枪，不考虑像差他们之间的关系可表达为：d²=0.4i/Bα²。d:束斑直径 i:束流 α：张开半角，张开半角大小受聚光镜电流控制 B:亮度。说到这我想应该可以了。

聚光镜电流增加，聚光透镜磁场增大，电子束焦距减小，束斑尺寸减小。

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