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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：一般SEM的标尺是如何校准的？

浏览0 回复14 电梯直达
bluepapaya
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发表于：2006/03/19 22:00:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
新手，不明白的地方比较多，向大家请教！
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chenjianfeng
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2006/3/20 8:58:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要通过专用的放大倍数标准样品来校正的,电镜本身是带有这种功能的.不过一般是由厂家的安装工程师在调试的时候校好.
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bluepapaya
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2006/3/20 20:09:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
校样是什么校样，我只看到过金原子的照片，没有看到绝对校准标尺的样板。另仅在调试时校准一次标尺，以后标尺难道不会变吗？有些困惑。
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常怀千岁忧
narcisus
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2006/3/21 9:25:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好问题！
期待高手回答
纠正一下：不是金原子，是金颗粒。
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毒菇九剑
sshlxf
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2006/3/21 13:18:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chenjianfeng 发表:
要通过专用的放大倍数标准样品来校正的,电镜本身是带有这种功能的.不过一般是由厂家的安装工程师在调试的时候校好.


好像是一个网格状的标样. 网格的间距是一定的.
校正一次以后应该就不用校正了.
但如果是像半导体行业做测量的话,因为对测长精度很高,最好配一个标样.
国内现在也有开始做测长标样的了.
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德国工兵
tao______
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2006/3/26 1:00:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般能谱这边的标尺是用网格状标准样品来校准，此校准叫做IMAGE校准，包含黑白度对比度的校准，由于误差原因，尺寸测量时还是以电镜那边测的尺寸更为准确，因为能谱的标尺是以电镜测量的结果作为标准的。
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奔跑的蜗牛
chenjianfeng
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2006/3/27 23:46:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM的放大倍数标样是标准的刻线,我知道FEI用的是低倍为1/19mm的刻线,高倍用的1/2160mm的刻线,通过X,Y两个方向来校准的,EDS和DualBeam中的I-Beam放大倍数校正都是基于SEM来校正的,所以这个标样本身要合乎测试的要求标准才可以,就和国际单位制中的米原尺一样的.其本身也有标准
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qcbl
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2006/4/2 20:26:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要通过专用的放大倍数标准样品来校正的,一个网格状的标样,日本电子的是25μ，正负8% 判定
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sunnysky
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2006/5/9 16:52:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要想标尺准确的话,最好用从国际标准委员会经过若干级标准传递,经过认证的标样校正,这样进行测量时,可保证准确,并有法律效力
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figtnt
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2006/5/9 18:09:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真正的不好，不好说
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radisher
radisher
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2006/5/10 10:24:00 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
第一次校准了以后还用再校吗？？？
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