原文由 guowei0358(guowei0358) 发表:
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
主要理解为基体的晶粒,喷金后会多少改变原始的尺度,
一般场发射sem,至少溅射的是铂金,均匀成膜条件下,平均膜厚度在5nm以下。
谢谢您!我喷的是Au,一般也是5nm吗?
只要连续成膜,几乎看不出金颗粒。一般Au溅射方法,10nm以上才能连续成膜。至于如何控制膜厚,要看喷镀仪的说明书,不同的仪器略有不同,都有经验公式参考。
膜厚随着形貌均匀分布的,样品原有的形貌依然被复制在最表面,但和本体会有一些差异。