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主题：【求助】求助】那位高是能帮忙指点一下我测到的半导体基片的热膨胀系数

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hangcheng2000
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发表于：2010/05/19 09:10:09 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这是在下最近测定的半导体基片厚度方向的热膨胀系数，基片厚度为0.1mm，当时测量的时候好象是很多片叠在一起的，那位高人能指点一下迷津，因为实在不知道为什么厚度方向上不仅没有膨胀，反而尺寸变小了。（基板主要是由树脂层，铜层，还有其他有机物层叠合到一起的，不知道是因为有内应力还是其他原因，导致了这么怪异的膨胀曲线），在此先多谢各位了
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2010/5/19 12:53:07 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你用的是TMA测试？你是不是没扣除仪器的基线？
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tutm
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2010/5/19 13:00:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没扣除基线的铟TMA曲线也是这样的。
尺寸缩小排除样品因素外，应该还有仪器探测杆热膨胀伸长造成的因素。
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free365
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2010/5/19 14:29:34 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
厚度太小，样片可能有翘曲
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hangcheng2000
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2010/5/19 22:24:08 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多谢各位了，我的样品使用热膨胀仪测的。大概是样品有翘曲。
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