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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】SEM的放大倍率

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rainflying666

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发表于：2010/05/26 13:05:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请教各位，SEM的放大倍率是怎么来实现的？通过调节什么啊？一般的显微镜是调节和物镜的距离，但好像SEM的样品台是固定的，一般选取的WD也是固定的，那通过什么来实现的呢？我记得好像有一个计算公式，不知哪位能解答一下，非常感谢！

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2010/5/26 18:14:34 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

扫描电镜放大倍率的改变完全是电路上的处理。改变放大倍率就改变了电子枪在试样上XY方向的扫描范围，在电路的处理上仍然保证充满屏幕，这样放大倍率也就改变了。再进一步说，电子枪在开始扫描的时刻显示器也同步开始扫描，电子枪在结束扫描的时刻，显示器也同步结束扫描。但显示器在XY方向的扫描范围是固定的。当然也可以做选区扫描，电路处理与上面的相似。

该帖子作者被版主 huangtao0307加 10积分， 2经验，加分理由：好評

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2010/5/26 18:18:21 Last edit by fengyonghe

rainflying666

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2010/5/26 19:14:11 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

好深奥啊，我得好好理解一下，非常感谢专家耐心的解答！

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amdk7

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2010/5/27 16:07:07 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

SEM的放大倍率日系和欧系的计算方法不同，日系的放大倍率是按照以前3*4胶片和扫描面积的比值来计算的，而欧系的 SEM是用屏幕的面积和电子束扫描的面积的比值而得到，所以你如果对日系和欧系的 SEM图片有比较的话，可以发现在图片标尺差不多的情况下，两类电镜的放大倍数有2~3倍的差别

原文由 rainflying666(rainflying666) 发表:
请教各位，SEM的放大倍率是怎么来实现的？通过调节什么啊？一般的显微镜是调节和物镜的距离，但好像SEM的样品台是固定的，一般选取的WD也是固定的，那通过什么来实现的呢？我记得好像有一个计算公式，不知哪位能解答一下，非常感谢！

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2010/5/27 18:02:33 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不一定是欧系或日系，要看具体厂家的规定。另外，放大倍率一律用边长比计算，不用面积。正因为放大倍率显示的与实际的不一定相符，特别是经电脑处理和由于显示器尺寸不同，屏幕上看到的放大倍率与实际放大倍率不相符是常有的事，所以图像上的标尺就特别重要。我看到论坛上有些朋友发的照片上只有放大倍率而没有标尺，希望注意到这点。

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syning90

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2010/5/28 12:27:19 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

楼上的专家太专业了，完全同意您的看法

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wang200604

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2010/5/28 14:00:20 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

1.扫描电子显微镜放大倍数的变化是由人们操作波段开关、按键或计算机终端上的鼠标由电子线路来实现的。
2.物镜的调节是改变焦距，使图像清晰或模糊，改变的是试样至极靴的距离（尺寸）。
3.不同的生产厂家生产的扫描电镜，试样台也有所不筒，有WD（工作距离）固定几档的，有在一定范围内连续变化的。
至于公式，等我查好了告诉你。

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maxin2009

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2010/6/23 15:26:46 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 amdk7(amdk7) 发表:
SEM的放大倍率日系和欧系的计算方法不同，日系的放大倍率是按照以前3*4胶片和扫描面积的比值来计算的，而欧系的 SEM是用屏幕的面积和电子束扫描的面积的比值而得到，所以你如果对日系和欧系的 SEM图片有比较的话，可以发现在图片标尺差不多的情况下，两类电镜的放大倍数有2~3倍的差别
原文由 rainflying666(rainflying666) 发表:
请教各位，SEM的放大倍率是怎么来实现的？通过调节什么啊？一般的显微镜是调节和物镜的距离，但好像SEM的样品台是固定的，一般选取的WD也是固定的，那通过什么来实现的呢？我记得好像有一个计算公式，不知哪位能解答一下，非常感谢！

日本电子的SEM也是屏幕面积比上电子束扫描的面积

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saj

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2010/7/9 16:14:01 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

ISO 16700 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification 中图像放大倍率的定义
3.3 image magnification--ratio of the linear dimension of the scan display to the corresponding linear dimension of the specimen scan field

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