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X射线衍射仪（XRD）
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主题：【求助】影响XRD峰强及积分面积的因素

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atangg
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发表于：2010/06/08 22:19:57 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
新手请教一个问题：对一个有择优取向的晶体薄膜（几十纳米厚），影响XRD峰强及积分面积的因素有哪些？从设备因素及样品因素两方面考虑。
谢谢！
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xujun16
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2010/6/9 13:51:31 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你好！
影响XRD峰强及积分面积的因素有哪些？从设备因素及样品因素两方面考虑。
答：设备因素：1.狭缝. 2.管电流，电压。
    样品因素:XRD峰强&积分面积,有如下情况：
如：1.积分面积不变，而峰强和半峰宽变化，那么应和 size 和 strain有关。
    2.峰强变强，半峰宽不变，（即峰面积变大），应于择优取向（前提同一样品，不同制样法），含量变化有关！（前提，同一组成，不同含量）
    等等...谢谢参考指正！
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2010/6/9 13:53:15 Last edit by xujun16
jidzhang
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2010/6/11 7:34:37 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果薄膜是半晶性的，衍射峰强度还与结晶度相关。
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atangg
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2010/6/11 17:40:19 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢各位！在我的样品中，我对比了XRD峰的积分面积和摇摆线的半峰宽，发现趋势很一致（随溅射功率的变化），择优取向应该是影响我样品的峰的积分面积的主要因素。不知我这样分析的过程是否正确？
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