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主题：【求助】S3700

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yinsh1212
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发表于：2010/07/13 22:52:16 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我单位有一台日立公司的3700钨灯丝扫描电镜，最近发现在进行能谱分析的时候计数率较低，后发现灯丝的发射电流比较低，大概在50uA左右，根据说明书，灯丝的发射电流可以通过调节Gun bias来进行调节，bias的值越小，发射电流越大，想问一下大家一般把发射电流设定为多少较为合适，
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huangtao0307
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2010/7/16 11:11:13 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
沒有實操過這個形號的設備﹐你最好問下供應商﹐
一般標准規則﹐發射電流要使采集時死亡時間小于30%為最佳
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newbeesong
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2010/7/23 18:02:20 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
更换灯丝，并减少灯丝上的铜垫片，20KV时应该在80-120之间
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august001
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2010/8/6 17:15:22 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
15KV加速電壓下发射电流控制在70-120uA,一般放在100uA左右影像清晰度应该没有问题.
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fengyonghe
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2010/8/7 7:58:36 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
由各家的仪器情况选择发射电流，满足工作要求的条件下选小些的发射电流。可以延长灯丝寿命、减少污染。我经常用40-50uA，觉得可以。
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yinsh1212
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2010/8/9 21:06:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢大家了，灯丝发射限流小，灯丝寿命是应该长一些的，不过也发现一个问题，在10kV时发射电流大约为80uA左右，而增加高压至20kV时，发射电流反而下降至50多uA，好像也不是很正常，按理应该是高压越高，发射电流越大才对呀，不过这根灯丝今天终于烧断了，大概用了2个月。
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yinsh1212
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2010/8/9 21:15:10 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
发射电流随高压的变化是不是和电镜的自动偏压有关系呀，日立钨灯丝的扫描电镜好像是4级自动偏压，不过我们好像平时都是把Gun bias设置为0的，而且没有选择auto gun bias呀。
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驰奔
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2010/8/11 23:44:27 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
场发射扫描电镜总的发射束流最大才200nA，是否没法用能谱了？
关键还是最终探针的电流强度要足够，物镜光阑是否选对？ 聚光镜焦距可以拉长，
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forzamarco
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2010/8/12 10:49:06 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Hitachi 的S3400/S3700在更换HV或者HV On的过程中会自动调整gun bias的数值.一般30kV时110-130uA(Auto gun bias on)或130-150uA(Auto gun bias off).能谱的计数率低有可能是你的probe current设定过低,尝试调大一点.将movable aperture放置在零号孔看一下,还有是否好久没有做ABS了,建议做一次.印象中Ie值和能谱计数率没有什么密切的联系.
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luhaishan
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2010/8/12 11:22:52 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上的是Techmax的专家吗？
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linzq
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2010/8/12 17:12:16 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 驰奔(SRD2009) 发表:
场发射扫描电镜总的发射束流最大才200nA，是否没法用能谱了？
关键还是最终探针的电流强度要足够，物镜光阑是否选对？ 聚光镜焦距可以拉长，

同意你的看法，很内行！
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