主题:【求助】EDX计数率随样品不同而不同,每次测都要调spotsize么?

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firesoul119
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同样条件下,金属和非金属的计数率相差较大,
EDX分析时 需要保持计数率在1K-2K之间,那是不是每次都要调SPOTSIZE呢?
    1.如果调了SPOTSIZE,图象方面又需要重新调一遍,重新对焦,忒麻烦了,大家是如何操作的?
    2.且如果是需要对比分析,最好是在相同的设定条件下进行测试,这和维持计数率是否相矛盾了?
    3.请问 可有简单且准确的调整方法? 多谢了!
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fengyonghe
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能谱的空间分辨率很低,如果在高倍观察,做能谱时“调了SPOTSIZE,图象方面又需要重新调一遍,重新对焦,。。。”,这种操作不可取。应该将放大倍率调整到能谱的空间分辨率允许的放大倍率。否则能谱测量的实际范围会大大超出高倍下看到的细小质点。
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