主题:【已应助】新手求助关于SEM的Emission Current设置问题

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huoniu112
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小弟新手,才接触SEM不久,想请教论坛中的SEM达人几个问题,先谢谢大家了。
1.Emission Current和Probe Current分别调节的是什么电流,有什么作用?
2.这两个电流对图像的分辨率有什么影响?
3.通常情况下这两个电流的值应该设为多少合适呢?
4.如果Emission Current长期运行在100ua,是否影响钨灯丝的寿命?
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fengyonghe
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Emission Current大对图像有利,对灯丝寿命不利。Probe Current大图像亮度高,束斑变大,对分辨率不利;Probe Current过小图像亮度低,分辨率也会低。要实时灵活调整,没有固定的设置
huoniu112
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
Emission Current大对图像有利,对灯丝寿命不利。Probe Current大图像亮度高,束斑变大,对分辨率不利;Probe Current过小图像亮度低,分辨率也会低。要实时灵活调整,没有固定的设置
嗯嗯,谢谢这位前辈的回答。我还想请教一下,比如看植物、高分子纤维、金属块,Emission Current大概分别设置的范围是多少呢?
fengyonghe
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原文由 huoniu112(huoniu112) 发表:
嗯嗯,谢谢这位前辈的回答。我还想请教一下,比如看植物、高分子纤维、金属块,Emission Current大概分别设置的范围是多少呢?
边看边调满意就行
一叶知秋
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原文由fengyonghe(fengyonghe)发表:Emission Current大对图像有利,对灯丝寿命不利。Probe Current大图像亮度高,束斑变大,对分辨率不利;Probe Current过小图像亮度低,分辨率也会低。要实时灵活调整,没有固定的设置
probe cuurent过小图像亮度会低。不过分辨率会好。你可以查看工程师拍分辨率图片的时候,他们用的值一般比你正常做样的要低吧。可以核实下
BBLZM
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Emission Current一般根据情况选择。Probe Current束斑大,亮度高,但分辨率降低,束斑过小图像亮度低,分辨率也会低。一般选用中间的束斑
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