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主题：【求助】光电子能谱仪的样品制备室（预沉积室）问题

浏览0 回复3 电梯直达
thb2520
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发表于：2010/08/24 11:03:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家好，目前想做原位测试金属与半导体接触界面光电子能谱变化情况，主要是先在能谱仪沉积室内蒸镀一层金属，测试金属的功函数和真空能级情况，然后再将样品回传到沉积室，继续蒸镀半导体材料（厚度不同），这样再进行表面光电子能谱分析。
不过，很多单位没有样品制备室，请问国内有哪些单位有能够进行进行原位沉积、测试的XPS（含UPS）的设备啊？
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2010/8/24 16:22:21 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
就算有，你能用的可能性也很小，所以还是另想办法的好。
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feixiong5134
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2010/8/25 17:15:49 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
能用原位沉积的地方好像没听说过
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syuxing
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2010/9/25 8:42:03 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
国内有这样的设备。但是就像二楼说的那样，不太可能给你测。
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