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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：使用热场SEM上配的EBSD时束斑最小能到多少

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xingxingxs

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发表于：2005/11/27 22:27:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

使用热场SEM上配的EBSD时束斑最小能到多少

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2005/11/29 17:11:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 xingxingxs 发表:
使用热场SEM上配的EBSD时束斑最小能到多少

场发射电镜是没有束斑的，所以没有束斑调节

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jeolzxj

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2005/12/2 21:53:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

理论上,最小的束斑是和你的电镜的最高分辨率有关系的,比如说,现在的热场SEM一般能达到1.5nm,那么它的最小束斑应该稍微比它小点.

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amdk7

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2006/1/5 11:40:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我不知道束班直径有多小,但是如果电镜状态好,我有时可以选择SPOTSIZE 6

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saintchen

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2006/1/5 15:29:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 renxin 发表:
原文由 xingxingxs 发表:
使用热场SEM上配的EBSD时束斑最小能到多少

场发射电镜是没有束斑的，所以没有束斑调节

哦？我注意到版主多次提到场发射没有束斑这个概念，能不能详细解释一下？否则，没人会信服你的，估计你也看到了，你说过很多次，可是论坛里依然各说各的。我觉得shxie兄（姐）及。。不好意思忘了他的ID了好像是zm..什么的，说话客观，有理有据。看了就让大家服气。呵呵，个人意见，版主不要踢我。。。。呵呵，我可是良民，只是为了更好的学东东，还有希望我们坛子了水更清澈，呵呵灌水。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。

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2006/1/5 16:17:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 saintchen 发表:
原文由 renxin 发表:
原文由 xingxingxs 发表:
使用热场SEM上配的EBSD时束斑最小能到多少

场发射电镜是没有束斑的，所以没有束斑调节

哦？我注意到版主多次提到场发射没有束斑这个概念，能不能详细解释一下？否则，没人会信服你的，估计你也看到了，你说过很多次，可是论坛里依然各说各的。我觉得shxie兄（姐）及。。不好意思忘了他的ID了好像是zm..什么的，说话客观，有理有据。看了就让大家服气。呵呵，个人意见，版主不要踢我。。。。呵呵，我可是良民，只是为了更好的学东东，还有希望我们坛子了水更清澈，呵呵灌水。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。

论坛上各说各的，由来已久，电镜日益成为工具，深入了解电镜的必要性大大地减低了。
不过我还是说，了解电镜的操作员和不是很了解的，还有根本不了解的，在一般的操作状况下是区别不大的，但在高级或者特殊操作下，区别就明显了。
关于束斑，英文叫 SPOT， FEI叫 CROSSOVER，是镜筒中的电磁聚光镜对大直径的钨丝电子束作用的结果，从发射源到样本共有四个束斑，即虚拟发射源束斑，一级聚光镜束斑，二级聚光镜束斑，和样本观察用束斑。
一般我们提到的是最后一个。
在场发射镜筒中，由于发射源直径的非必要性，所以镜筒中没有电磁聚光的存在，因而也没有束斑的存在。
这是严格意义上的说法，厂家为了迎合早期钨丝电镜用户的习惯，也将束斑的概念引入了场发射镜筒中。
在低真空场发射电镜中，镜筒中会增加一级聚光镜，但作用并不是像在钨丝镜筒中的，起到缩小束斑的作用，而是稳定电子束的。
就像我刚讲的，电镜日益成为工具，概念正确与否关系大不大，取决于操作员的精度。

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saintchen

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2006/1/6 10:40:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

哦！原来如此！那么场发射扫描电镜由于电子束很细，所以不需要聚光镜，电子束只有一个crossover，就是在样品表面的焦点上，所谓束斑直径就是指的这个地方，而且只是沿用钨灯丝电镜的称谓让用户好理解，我这么理解对不对？

好贴！！！！！！！！1呱击呱击！！！！

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2006/1/6 14:55:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你如果用的是FEI的SIRION,SPOTSIZE 设置到5或6

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renxin

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2006/1/6 17:28:00 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 saintchen 发表:
哦！原来如此！那么场发射扫描电镜由于电子束很细，所以不需要聚光镜，电子束只有一个crossover，就是在样品表面的焦点上，所谓束斑直径就是指的这个地方，而且只是沿用钨灯丝电镜的称谓让用户好理解，我这么理解对不对？

好贴！！！！！！！！1呱击呱击！！！！

是的，不过 CROSSOVER中文叫交叉斑，应该只适用于钨丝镜筒，不适用场发射。

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