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主题：请教：如何从摇摆曲线或theta-2theta曲线计算薄膜厚度（几百nm）

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caiyan
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发表于：2005/12/04 09:12:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教：如何从摇摆曲线或theta-2theta曲线计算薄膜厚度（几nm至几百nm）
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sunnyzhao9
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2005/12/6 21:10:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很困难。
如果有干涉条纹出现，就比较简单。但误差约10％。（适用于100nm以上）
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science_2006
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2006/6/16 20:21:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个能算吗？
可以用SEN做个分析塞
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手机版： 请教：如何从摇摆曲线或theta-2theta曲线计算薄膜厚度（几百nm）
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