主题:【原创】镀膜玻璃怎么拍SEM?

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jinshucailiao
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唉,最近总有人拿镀膜的玻璃来给我拍SEM,我的是W灯丝的。
玻璃上镀的是大约30-40nm的ZnO或TiO2,要求看ZnO的孔径生长情况。
我是新手,费老大力在镀膜正面放大到10万倍下拍摄,能看出有一些排布均匀的黑点(可能就是他们要的孔),但黑点的边界模糊,不清楚,想问高手怎么能调节清楚?

另外,他要求看这个镀膜的侧面,一直放大到10万倍,总看不到所谓的孔的截面,而且图片也不清楚,怎么调节呢?

加速电压:20kv,15kv都有试过         
调焦,像散,明亮度,对比度以及束斑都有调节,甚至电子枪的对中也一直调来着,尤其在5万倍以上总是不太清楚。愁死了。看的是SEI象。

玻璃已镀金膜。

谢谢!
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linzq
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原文由 jinshucailiao(jinshucailiao) 发表:
唉,最近总有人拿镀膜的玻璃来给我拍SEM,我的是W灯丝的。
是什么牌子的钨灯丝?有些牌子的钨灯丝放大倍数由于选用的图像尺寸原因而显得偏大。
玻璃上镀的是大约30-40nm的ZnO或TiO2,要求看ZnO的孔径生长情况。
是30-40NM厚的膜?还是30-40NM直径的孔?
我是新手,费老大力在镀膜正面放大到10万倍下拍摄,能看出有一些排布均匀的黑点(可能就是他们要的孔),但黑点的边界模糊,不清楚,想问高手怎么能调节清楚?
10万倍下30-40NM应该不是小黑点了,应该可以看到孔的模糊图像了。钨灯丝在这个倍数下得到一个模糊图像已经很不容易了。只是不知道你说的点是什么样地点?如果仅仅是一个小黑点,那应该是在日系电镜5万倍以下(有些欧系的倍率显示要偏大一倍以上,因为他们选用的图像尺寸比较大的缘故)

另外,他要求看这个镀膜的侧面,一直放大到10万倍,总看不到所谓的孔的截面,而且图片也不清楚,怎么调节呢?

加速电压:20kv,15kv都有试过         
调焦,像散,明亮度,对比度以及束斑都有调节,甚至电子枪的对中也一直调来着,尤其在5万倍以上总是不太清楚。愁死了。看的是SEI象。

玻璃已镀金膜。
是什么意思?给镀了膜的玻璃再镀一层金膜?
谢谢!


最后的结论是用钨灯丝看这样的样品是极其困难的事情,能看到一个模糊像已经说明你有一定的水准了。不要过于忧愁,告诉你们领导:义和团是打不了洋鬼子的。不管他们的勇气有多大,虽然大刀也可以杀人。
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2010/11/26 9:27:47 Last edit by linzq
jinshucailiao
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谢谢资深人士linzq的回答。
确实给这个样品表面又镀了金膜来观察,之前没镀的话什么都看不到。
我用的是日电的电镜。样品表面镀膜后大约是30~40nm直径的孔。我感觉孔的边界不清楚,请教各位大侠,怎样把它调的更好。谢谢!!!
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2010/12/3 9:05:07 Last edit by jinshucailiao
linzq
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原文由 jinshucailiao(jinshucailiao) 发表:
谢谢资深人士linzq的回答。
确实给这个样品表面又镀了金膜来观察,之前没镀的话什么都看不到。
我用的是日电的电镜。样品表面镀膜后大约是30~40nm直径的孔。我感觉孔的边界不清楚,请教各位大侠,怎样把它调的更好。谢谢!!!


图片从标尺看10万倍,钨灯丝电镜在10万倍是很难调的清楚的。底板是玻璃就更加的麻烦,漂移应该也会有的。这个孔已经不是小黑点了,你把发射电流提高一点,用5KV再试试。如不行也就如此了。钨灯丝能这样已经不错了。倾斜30度再看看。看起来像氧化铝模板孔。呵呵,钨灯丝分辨率是不够的。
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2010/12/3 11:57:25 Last edit by linzq
yaosia
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原文由 jinshucailiao(jinshucailiao) 发表:
谢谢资深人士linzq的回答。
确实给这个样品表面又镀了金膜来观察,之前没镀的话什么都看不到。
我用的是日电的电镜。样品表面镀膜后大约是30~40nm直径的孔。我感觉孔的边界不清楚,请教各位大侠,怎样把它调的更好。谢谢!!!


基本上你用钨灯丝可以放弃这个样品了,因为就钨灯丝而言你已经拍到极限了。 最好让你的客户换到分辨率高一点的场发射电镜上面再用5kV以下的电压和镜筒内置式探测器看应该会非常清楚的
小M
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