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主题：【求助】安捷伦6890N-ECD报错

浏览0 回复21 电梯直达
碧海蓝天
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发表于：2010/12/04 08:26:35 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ECD面板显示错误提示：

Pnev Error 0149

PCB Cmd Error:2003

另附工作站的两张图片，请高手帮忙。
该帖子作者被版主 coffee8加 2积分， 2经验，加分理由：鼓励提问！
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2010/12/4 8:48:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
压力和流量的实际值和设置值差异很大，EPC 失灵了吗？
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雾非雾
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2010/12/4 9:45:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
重新打开一个正常的方法看能不能恢复？
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碧海蓝天
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2010/12/4 11:56:29 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一个星期前就出现问题了，重启一下设备立马就好了，打800报修了，工程师让再观察观察，没想到现在重启设备自检都通不过。EPC的板子换了不超过三个月，个人感觉这次又是这个问题。另我们的设备是02年买的，双塔双柱，检测池都换了三遍了。
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碧海蓝天
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2010/12/4 11:58:01 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 雾非雾(mcds) 发表:
重新打开一个正常的方法看能不能恢复？

没用，现在软件已经完全无法控制和压力、流速有关的参数了，温度十分正常。
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symmacros
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2010/12/4 12:06:07 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EPC可能坏了。
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guohua
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2010/12/4 13:24:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1 ECD不能使用He气。
2 更换分流出口捕集阱解决压力高的问题。
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coffee8
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2010/12/4 21:39:25 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们ECD是用的氮气做载气的
不知道楼主的载气是氦气吗？
设置有没有错？
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碧海蓝天
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2010/12/5 8:10:18 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 coffee8(coffee8) 发表:
我们ECD是用的氮气做载气的
不知道楼主的载气是氦气吗？
设置有没有错？


也是个错误，方法中是N2，打开工作站就显示的He。
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碧海蓝天
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2010/12/5 8:12:04 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 guohua(guohua) 发表:
1 ECD不能使用He气。
2 更换分流出口捕集阱解决压力高的问题。


显示的压力不是实际的，无法控制，估计是PCB板子问题，需要更换新的。
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戈壁明珠
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2010/12/5 9:39:51 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 碧海蓝天(uuaa2000-100) 发表:
原文由 coffee8(coffee8) 发表:
我们ECD是用的氮气做载气的
不知道楼主的载气是氦气吗？
设置有没有错？


也是个错误，方法中是N2，打开工作站就显示的He。

这个可以修改，选择氮气然后保存方法。
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