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主题：请问有搞半导体前工序的朋友吗？请教检查线宽一般用什么仪器？线宽0.35~0.5um

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sunrolee
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发表于：2005/12/17 10:24:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问有搞半导体前工序的朋友吗？请教检查线宽一般用什么仪器？线宽0.35~0.5um！
还有晶元装载机相关资料，及半导体前工序检查方法！
在此谢过能帮忙的朋友了！
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2005/12/19 8:11:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sunrolee 发表:
问有搞半导体前工序的朋友吗？请教检查线宽一般用什么仪器？线宽0.35~0.5um！
还有晶元装载机相关资料，及半导体前工序检查方法！
在此谢过能帮忙的朋友了！


显微镜!
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2005/12/19 17:57:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
测量线宽用什么工具，显微镜只能检查外观啊！
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2005/12/20 8:02:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sunrolee 发表:
测量线宽用什么工具，显微镜只能检查外观啊！


显微镜也可以测线宽啊!
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2005/12/21 9:49:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好像达不到精度啊
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2005/12/21 20:12:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sunrolee 发表:
好像达不到精度啊

可以达到!如OLYMPUS LEXT3000,精度非常高!0.12um但是价钱也高!
一般的显微镜也可以看到,您可以拿着样品到我们公司来看看!1000倍的时候分辨率是0.35um
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Last edit by olympus
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2005/12/22 11:51:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
0.12um精度，测量0.35um线宽，相对误差=0.12um/0.35um=34%
好像太大！
还有你们公司在那里？看样方便吗？
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2005/12/23 8:14:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sunrolee 发表:
0.12um精度，测量0.35um线宽，相对误差=0.12um/0.35um=34%
好像太大！
还有你们公司在那里？看样方便吗？


我们的设备可以分辨0.12um的线宽!
我们在全国很多主要城市都有分公司,具体联系方式您可以登陆www.cis88.com.cn查询,或告诉我您的联系方式,我们来与您联系!
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2005/12/28 15:44:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢！有问题在咨询你！
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朱志峰
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2005/12/29 10:20:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哥们用一般的材料检测显微镜就可以了,一般的话壹万多元即可搞定,如果要记录你还可以加测量软件,切记切记.njrgb@126.com
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2005/12/30 19:35:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 朱志峰 发表:
哥们用一般的材料检测显微镜就可以了,一般的话壹万多元即可搞定,如果要记录你还可以加测量软件,切记切记.njrgb@126.com


谢谢老兄！
再问下哪个牌子的？还有防静电功能怎么样，比较关心的是静电问题！
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