主题:关于对接膜样品

浏览0 回复1 电梯直达
junzailai
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对粘后双面研磨,抛光直到可以透光,然后用铜环粘下,直接就可以离子减薄吗?
还有别的工序吗?
我的是硅衬底。
谢谢
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ustb
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看一下这两个帖子吧,第一个帖子里有一个课件,你可以看看。
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20051027/262106/
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20051027/261832/
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