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主题：喷金装置上的抽真空的机械泵冒黑烟怎么回事呀？

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daqiang
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发表于：2006/01/06 13:52:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
昨天给样品喷金的时候发现离子溅射仪的真空上不去，在一看机械泵出气口开始冒黑烟，请问是怎么回事？
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2006/1/6 14:12:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空系统有漏，机械泵在抽大气
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daqiang
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2006/1/6 15:35:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sunnysky 发表:
真空系统有漏，机械泵在抽大气



谢谢，确实是由漏气的地方，找到原因了。一个橡胶垫片掉出来了
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驰奔
srd2009
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2009/11/26 23:28:10 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sunnysky(sunnysky) 发表:
真空系统有漏，机械泵在抽大气

经验，判断准确！
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syning90
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2009/11/27 10:34:58 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
厉害厉害！
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agmlzc
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2009/12/1 10:07:07 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 daqiang(daqiang) 发表:
昨天给样品喷金的时候发现离子溅射仪的真空上不去，在一看机械泵出气口开始冒黑烟，请问是怎么回事？



漏气啦 分析正确
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