原文由 saintchen 发表:
一般,机械泵称为一级泵,真空度大概在10-2Pa左右;
分子泵,扩散泵称为二级泵,真空度大概在10-4Pa左右;
离子泵成为三级泵,真空度可达10-8Pa。
正如您所说,先得机械泵工作,达到一定真空度后,二级泵工作,达到一定真空度后,三级泵才开始工作。
工作顺序 说得不错, 但 真空度说错了, 机械泵 可以达到 10E-003MBAR 或TORR, 不是PA, 分子泵可以轻易达到 10E-006MBAR甚至10E-007, 离子泵可以达到 10E-010MBAR。
还有, 分子泵 是可以从大气直接工作的, 但转速 很低, 达不到 高真空,一般真空系统的设计是 分子泵 转速达到 50%到 80%的时候, 高真空表 PENNING才开始 读数。