原文由 darkeye 发表:原文由 zemb 发表:
你们都把我说糊涂了......
我了解的能谱仪是不依赖电镜的真空度的,不论在高真空、低真空还是环境真空都可工作。
一般的能谱仪不带真空泵,有的能谱仪为了维持其冷却系统的局部真空,加了一个离子泵,但能谱仪的真空和电镜的真空是没有联系的。
这些厂家都设计好了,所以不必担心能谱仪会不会工作。
能谱分析需要稳定的发射束流,越高的真空度对电子束流的稳定有好处.看过有关资料,说冷场发射枪的束流不如热场发射枪束流稳定,对于能谱分析,热场好于冷场,其中道理好象相似.