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主题：新手求助SEM找不到图象

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chool012
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发表于：2006/08/24 20:31:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：20积分 状态： 已解决
日立S-3000N 灯丝烧掉后换上新的灯丝后加压找不到图象怎么回事?在线等!谢谢
推荐答案：forzamarco回复于2006/08/29
上面给你的几个检查方面都有确认过吗?请你详细描述一下相应的状况,这样才能更快地找到问题点
你得到的图谱数据正常吗?和以前的图谱比较差异大不大?能谱仪是否能够截取影像?如果得到正常的图谱,说明电子束有打到样品上,信号源应该没有问题的.建议关掉Display后检查SEM电脑主机后面的CN6,APC接头是否松动脱落,影像截取卡不一定是挂掉了,可能是连线问题或相关驱动丢失了.当然还有一个可能的原因是Digital Bus那里有问题,信号可以到能谱仪,但是无法送回到SEM端.
以上就是以前工作时经历过的,如果检查过还不行的话,建议你找你们机台购买时对应售后服务的吧,可能到了现场才会有准确的判断
补充答案：

常怀千岁忧回复于2006/08/25


Beam current有示数吗？
亮度对比度调节屏幕有反应吗？
换灯丝后是否做过AGA?
物镜可动光阑是否偏掉？

zhengzujin回复于2006/08/30

调整灯丝 在30千伏下合轴  注意是灯丝相的合轴 电流应该在90~110ua之间

skyhunter回复于2006/09/01

换了灯丝就看不到象，其他参数没改变，最有可能的就是灯丝没校正好位置，导致灯丝数流无法聚焦到样品表面。我觉得！

春天的桃子回复于2008/12/19


牛人啊 什么时候也的向你请教请教.

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2006/8/25 8:42:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chool012 发表:
日立S-3000N 灯丝烧掉后换上新的灯丝后加压找不到图象怎么回事?在线等!谢谢

Beam current有示数吗？
亮度对比度调节屏幕有反应吗？
换灯丝后是否做过AGA?
物镜可动光阑是否偏掉？
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2006/8/25 9:25:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
换完灯丝后,没有影像,大概有几个方面考虑:
1.要看你的灯丝是否是校正灯丝,如果要校正灯丝,安装的时候灯丝的物理位置是否调好,免校灯丝基本上可以跳过这个步骤,但是还是建议你检查一下,可以观察一下Filament image.
2.检查Emission Current为多少,是否因为Filament Current为0,导致没有Ie,建议执行AFS
3.将Movable aperture 拉至0孔,点Aligment执行AGA
4.调整亮度,对比度,或者直接执行ABC,看屏幕是否有变化
5.确认你的信号模式是SE还是BSE,如果观察SE,将Signal setup打开,看POST HV是否有选,如果是BSE的话,那detector是否有放入chamber
6.检查beam current的大小,一般都在50左右的,太小的话画面会很暗的,但是ABC时画面还是应该会有变化的.
7.如果有加装能谱仪的话可以做一下能谱测试,看是否能有图谱跑出,以前曾碰到过一个case是影像截取卡有问题,导致影像无法观察
目前只想到这么多故障可能,其他的请楼下的补充吧
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2006/8/28 20:24:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用能谱测过,确实有吸收峰?如果是影象截取卡坏了改怎么换?谢谢
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2006/8/29 10:43:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
上面给你的几个检查方面都有确认过吗?请你详细描述一下相应的状况,这样才能更快地找到问题点
你得到的图谱数据正常吗?和以前的图谱比较差异大不大?能谱仪是否能够截取影像?如果得到正常的图谱,说明电子束有打到样品上,信号源应该没有问题的.建议关掉Display后检查SEM电脑主机后面的CN6,APC接头是否松动脱落,影像截取卡不一定是挂掉了,可能是连线问题或相关驱动丢失了.当然还有一个可能的原因是Digital Bus那里有问题,信号可以到能谱仪,但是无法送回到SEM端.
以上就是以前工作时经历过的,如果检查过还不行的话,建议你找你们机台购买时对应售后服务的吧,可能到了现场才会有准确的判断
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zhengzujin
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2006/8/30 13:06:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
调整灯丝 在30千伏下合轴  注意是灯丝相的合轴 电流应该在90~110ua之间
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skyhunter
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2006/9/1 10:04:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
换了灯丝就看不到象，其他参数没改变，最有可能的就是灯丝没校正好位置，导致灯丝数流无法聚焦到样品表面。我觉得！
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春天的桃子
dct1983
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2008/12/19 17:52:28 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 forzamarco 发表:
换完灯丝后,没有影像,大概有几个方面考虑:
1.要看你的灯丝是否是校正灯丝,如果要校正灯丝,安装的时候灯丝的物理位置是否调好,免校灯丝基本上可以跳过这个步骤,但是还是建议你检查一下,可以观察一下Filament image.
2.检查Emission Current为多少,是否因为Filament Current为0,导致没有Ie,建议执行AFS
3.将Movable aperture 拉至0孔,点Aligment执行AGA
4.调整亮度,对比度,或者直接执行ABC,看屏幕是否有变化
5.确认你的信号模式是SE还是BSE,如果观察SE,将Signal setup打开,看POST HV是否有选,如果是BSE的话,那detector是否有放入chamber
6.检查beam current的大小,一般都在50左右的,太小的话画面会很暗的,但是ABC时画面还是应该会有变化的.
7.如果有加装能谱仪的话可以做一下能谱测试,看是否能有图谱跑出,以前曾碰到过一个case是影像截取卡有问题,导致影像无法观察
目前只想到这么多故障可能,其他的请楼下的补充吧

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