这是我上次日本电子工程师来清洗电镜的时候传授的一点心得。
因为一直很忙,就要过春节了,所以赶紧写一点来一起分享手动调节Gun Alignment到最佳的一般步骤。机子型号:日本电子6063LV
在换灯丝或者是物镜光阑后一般都要手动调节Gun Alignment。特别是要做能谱的这点显得更加重要。虽然很多仪器都有AUTO调节的。但我个人认为手动的可能效果更好,而且掌握一下如何调节总没有错的。
1。在放大倍数到最小状态,适时可以变化,spot size 调节到30,tilt X、Y调至中央。shiftX、Y也调节到中央开始。
2。调节LC从左到右,直到黄带位置。(此过程会发现视图由暗变亮,后又变暗,再变亮。此sean wen曾经贴过图
能很好的说明。我们就要找这前面的那个饱和点。
3。AUTO ACB,对比度好了,倍率调节到最低。
4。分别调节tilt X、Y直到视图都最亮,中间可以再次AUTO ACB。
5。分别调节shift X、Y直到视图都最亮,中间可以再次AUTO ACB。
6。调节LC到最亮,如果比较不出来就要AUTO ACB(调节对比度)
7。再调节tiltX、Y和shiftX、Y。使视图最亮。
8。增大倍率,调焦,AUTO ACB *10000。
10。调节OL WOBBLE。再调节倍率最小。调节tiltX、Y 使视图最亮。
11。增大spotsize,应一直变亮,如果看不出变化现象,应再次AUTO ACB后再调节。若在增大spotsize的过程中,有变暗的情况时,调节shiftX、Y。使视图最亮,直到调节spotsize达到90左右时一直是视图在增亮的过程。
12。把spotsize调到30,再调节tiltX、Y。使视图最亮。
13。倍率增大,调焦后OL wobble使视图不在晃动。
14。变小倍率,增大spotsize检查是否有变暗的情况。如果有重复11步骤。
15。spotsize调回到30,再次调节tiltX、Y。使视图最亮。
16。放大倍率,调焦,调节stigmX、Y、OL wobble。
17。观察LC电流,一般有这样的关系:30KV在80+/-5uA、20KV在70+/-5uA、15KV在65uA左右。如果LC电流不在此范围内,可以点击set bias,调节coarse大小来调节LC电流。注意他们之间的关系。
18。在换灯丝的第二天,LC最好回调一点(这点其实很重要,可以延长灯丝的寿命)大家想想为什么。