主题:【原创】请教使用椭偏移的前辈

浏览0 回复1 电梯直达
yanyan10
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有哪位前辈使用过SE 400adv PV?求助如何设定测定膜厚的参数?我们只能测定100nm以内的,我重新创建了一个120nm的模式,可是里面的具体参数不知如何设置!请多指教!
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yanyan10
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论坛的人呢?怎么没有人关注呢?真是奇怪!赶紧给个高手指点下吧?
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