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主题：【讨论】放大一定倍数后样品上有一个黑框

浏览0 回复9 电梯直达
girlsnake100
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发表于：2011/05/11 15:19:48 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，用场发射扫描电镜低倍还好，高倍后扫描成图后，再一缩小倍数，就看到扫的那一块变黑了。是不是电子刻蚀的效果呢？这个问题经常遇到，但没思考那么多，现在想了解具体原因，先谢谢给位大虾！
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mitchell_dyzy
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2011/5/11 16:04:05 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
把聚焦框打出来，放大倍数聚焦，电子束会集中在聚焦框内，如果样品是易分解或者低溶点的物质，电子束被对其产生影响，留下一个黑框框，黑框的大小与放大倍数聚焦的视场相同。并不是所有的样品都会出现这种框。今天正好做了两个对比明显的样品，一个是氧化铝，另一个是氢氧化铝，都经过喷金处理。同样在10万倍下，前者无框，后者有框。
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小M
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2011/5/11 16:15:02 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
而且拍照时实验者区分不出哪个是氧化铝哪个是氢氧化铝，我根据这个框和氢氧化铝在几百度
时易分解，推断1号是氧化铝，2号是氢氧化铝。样品取出后，他将
样品表面的金挂掉一点，确定了我的推断是正确的。（手机用不了编辑功能）
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fengyonghe
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2011/5/11 18:21:18 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
上面说的是一个原因，归根结底是试样表面污染所致，原因有试样本身的问题，如上面说的原因，也有真空系统不干净引起的，如真空泵油气。你的现象是否像下面的一样？
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asahi42
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2011/5/11 19:15:44 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我遇到的问题当中，与Fengyonghe先生相类似的情况比较多，一般认为是烃类分子污染，污染来源也许是该样品，也可能是许久之前的样品，包括碳导电胶的大量使用。污染原理近似于化学气象沉积。非常影响观察，很不爽。。。
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girlsnake100
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2011/5/12 9:51:26 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
上面说的是一个原因，归根结底是试样表面污染所致，原因有试样本身的问题，如上面说的原因，也有真空系统不干净引起的，如真空泵油气。你的现象是否像下面的一样？


是的，感觉比这个还黑，黑乎乎的一个框。
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2011/5/12 11:15:39 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 asahi42(asahi42) 发表:
我遇到的问题当中，与Fengyonghe先生相类似的情况比较多，一般认为是烃类分子污染，污染来源也许是该样品，也可能是许久之前的样品，包括碳导电胶的大量使用。污染原理近似于化学气象沉积。非常影响观察，很不爽。。。


这种很难调，聚焦、消像散时间一长，黑框就出来了……有黑框就影响美观！
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zhaolu2832
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2012/5/15 16:44:28 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家好，我是SEM新手，我也遇到黑框的问题，我做的是纳米级器件，我想问问大家这种污染对器件的性能是否会有影响？
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fengyonghe
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2012/5/15 18:07:49 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对器件的影响主要是能谱探头若长期处在这种气氛中会有些影响，试样形成黑区是由于在这种气氛下电子束轰击样品产生高温所致。
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xx2882xx
xixiaoning
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2012/5/16 10:14:17 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
污染很烦人啊，但要比荷电好一些
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