获得0积分，您同时完成了每日任务，有额外的积分奖励，请前往APP领取
立即前往
原文由 hpyao 发表:
刚刚发现这个网站，欣喜ing！有一些疑问，敬请DX们赐教啊！
我们的应用是芯片的检查，对分辨率要求不是很好，10nm足够了，但是对扫描速度和电流稳定性要求很高
1) 我们需要对一块芯片进行全芯片的摄像，需要连续拍摄几万张高分辩率SEM图像的矩阵，要在一个合理的时间内完成，每张的扫描时间最好在10s以内。
2) 几万张照片需要几十个甚至上百个小时的连续拍摄，必须要全自动，因此焦距必须很稳定，也就是电流要很稳定（也许一天停下来调2次焦距还是可以的）
什么样的SEM能够最好地满足我们的需求呢？我们进行了很多调研，得到了一些信息，请DX们帮助判断是否正确：
1)
我们的场地是确定的，在六楼，震动、电磁都是问题，但是我们可以进行专门的装修和购买减震台
1) 在上海我们找了很多单位都不能测试环境震动、电磁环境什么的，有什么专业的单位可以测？联系方法？价格几何？
2) 用什么防震台比较好？对于2万倍以下的放大，震动问题是否很难解决？
从电流稳定性方面考虑，FE－SEM是最佳选择，但是我们不需要很高分辨率，环境也达不到要求，买FE－SEM有些浪费；
W－SEM电流稳定性很差，寿命甚至不能满足一次连续摄像，速度又慢，不能考虑
LaB6－SEM对于我们的应用，是不是最好的选择？速度和FE-SEM不知道相差多少？
以上问题确实很棘手，哪位DX对SEM方面比较了解，敬请和我联系：haiping.yao@gmail.com，139 1634 4697
Thanks in advance!
以来就问这么多，惭愧...不过真的是很急...
我的社区
签到
