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主题：【求助】在做AR-XPS测试 需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程吗？

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liuaqianqia
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发表于：2011/08/09 11:28:35 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
AR-XPS中氧的平均自由程
请教高手！
在做AR-XPS测试的时候，需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程，有人知道是多少吗？

background：我是想用AR-XPS来测试Si表面的native oxide厚度。需要用到一个公式，公式中有个未知量是“平均自由程”
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2011/8/31 15:30:51 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
查一下文献吧，imfp
好像应该叫做电子在SiO2中的非弹性散射平均自由程。
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feixiong5134
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2011/9/15 9:56:55 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
O1S的cross section at 1487ev是3.09
Si2p1和2p3分别是0.276和0.541
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feixiong5134
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2011/9/15 9:59:26 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我记得以前好像看文献做角分辨XPS的时候只要知道旋转角度就可以大概知道测试深度了，好像是和sin角度有关系，没必要用cross section
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