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主题：【讨论】ppb级别的氧分析仪器

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Gas
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发表于：2011/09/03 22:20:23 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对于ppb级别的氧，仪器选择方面比较少，目前的推荐有Delta-F的550E、560E，另一个就是原来OSK公司的MX-1A，标称的LDL分别为200ppt、75ppt、20ppt；再加上Tiger的转化法测定H2O间接测定O2的仪器（LDL：100ppt）；
半导体制程用气体对杂质组分要求，目前已经到1ppb以下，大家有没有其他的推荐？质谱就算了，总费用太大，维护要求高；
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2011/9/4 6:52:53 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看看PEAK的表。
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2011/9/4 6:54:28 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Gas(zzb7986) 发表:
对于ppb级别的氧，仪器选择方面比较少，目前的推荐有Delta-F的550E、560E，另一个就是原来OSK公司的MX-1A，标称的LDL分别为200ppt、75ppt、20ppt；再加上Tiger的转化法测定H2O间接测定O2的仪器（LDL：100ppt）；
半导体制程用气体对杂质组分要求，目前已经到1ppb以下，大家有没有其他的推荐？质谱就算了，总费用太大，维护要求高；


两者测量原理是一样的，结构也是一样的，不同在电解液上面。大家可以研究下。
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独钓寒江雪
hzhhqt
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2011/9/4 12:24:13 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
目前也就这几种比较可靠
终端净化是关键
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Gas
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2011/9/5 8:49:39 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chengjingbao(chengjingbao) 发表:
看看PEAK的表。


谢谢！程版指的GC吧，准备选择和它类似的AMETEK的Ta7000；
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Gas
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2011/9/5 8:52:25 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 独钓寒江雪(hzhhqt) 发表:
目前也就这几种比较可靠
终端净化是关键


说的是！目前的项目准备上的就是DF的550E，Zero采用制程N2气（8N～9N），再经过Purifier，每周就得一次Zero calibration；方案还未拿到，未用过，待考察；
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chengjingbao
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2011/9/5 13:49:44 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Gas(zzb7986) 发表:
原文由 独钓寒江雪(hzhhqt) 发表:
目前也就这几种比较可靠
终端净化是关键


说的是！目前的项目准备上的就是DF的550E，Zero采用制程N2气（8N～9N），再经过Purifier，每周就得一次Zero calibration；方案还未拿到，未用过，待考察；


看过说明书，最高级别是每周一次的零校。
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dreamheaven
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2011/9/15 13:57:54 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
OSK的需要定期更换铅电极吧
这个级别的仪器，更多的是对使用环境的要求
而且校正零点的小纯化器的效果谁有能力可以检测一下
感觉不太靠谱
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chengjingbao
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2011/9/15 15:27:47 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 dreamheaven(dreamheaven) 发表:
OSK的需要定期更换铅电极吧
这个级别的仪器，更多的是对使用环境的要求
而且校正零点的小纯化器的效果谁有能力可以检测一下
感觉不太靠谱


可以通过流路切换来验证。
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