主题:【求助】关于隔垫吹扫

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7890a 隔垫吹扫流量总是下不去 徘徊在5.6附近 一直报警 我检查了进气管道和出气管道都很通畅 进样空没发现有残渣,我怀疑是排气口epc堵了 但是不知道怎么办 求高人指点 在线等
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报警的提示是什么?另外,是流量下不去还是压力下不去?
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我设置的是3ml/min  7890的epc貌似是电磁流量控制的 不知道怎么搞定
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