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主题：【求助】多晶硅生产中氯硅烷中总碳(甲基硅烷)质谱分析?

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shenghuo0903
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发表于：2011/10/26 18:30:10 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
背景：多晶硅含碳偏高，主要是三氯氢硅精馏提纯不够。企业一般是热氢化的回收氢和还原炉的回收氢混着用，氢化炉在1300度以上时，它的石墨罩会和氢气生成CH4，含量高的时候能达到几百个PPM，在还原炉中分解沉积在硅棒中。还有就是吸附塔再生时也能产生一定量的CH4。

大家都知道甲烷热裂生成炭黑和氢气的反应，就是隔绝空气加强热到1000至1500度左右.在1100度以下时不可能出现石墨与氢气化合生成甲烷的反应，或者大家也可以用热力学计算一下，先假使二者可以反应，通过平衡常数计算出的含量能有几个ppm就很不容易了。 
CH4(g)＝C(石墨)＋2H2(g)      反应自发温度823K

多晶硅生产中氯硅烷中总碳(甲基硅烷)质谱分析?
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2011/10/26 18:47:42 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
附件好像有乱码？用什么版本的office的word编的？
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iluvm
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2011/10/26 20:50:31 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
进样是个大问题啊！
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shenghuo0903
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2011/10/26 21:53:46 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
具体怎么操作
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shenghuo0903
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2011/10/26 22:02:08 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有啊 ,我这边打开正常,你的是不是版本需要更新了
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symmacros
jimzhu
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2011/10/26 22:14:50 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 shenghuo0903(shenghuo0903) 发表:
没有啊 ,我这边打开正常,你的是不是版本需要更新了


我用Word 2003，但现在附件也不见了。
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dahua1981
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2011/10/27 8:58:04 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我感觉气质估计测不了
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七宝
vargas1983
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2011/10/27 11:30:49 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有看到附件啊！估计要用碳硫分析仪测试
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