主题:【原创】不同牌子的SEM拍出来图片的倍数相差怎么就这么大?

浏览0 回复66 电梯直达
蓝莓口香糖
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看来还是有些东西没解释清楚。
1000倍不是我随便说的,是根据18楼的公式算出来的,就是那个“有效放大倍数”。
扫描步长不是人为设置的,扫描范围除以扫描点数就是扫描步长。这个现象不难观察,关键是在高倍的束斑要足够小,并且降低到足够的倍数。如果高倍下没有用小束斑,那么低倍下各扫描点拉开不够大,现象就不明显。这个现象可以用两种方法来验证。1. 高倍使用小束斑,聚焦清楚。不改变任何参数,持续降低放大倍数,低于某个倍数后,图像就开始模糊。2. 选择一个比较大的束斑,算出对应的“有效放大倍数”,在此倍数下聚焦清楚。然后保持倍数不变,持续减小束斑,图像无论怎么调焦都不会变清晰。两个方法说明的是同一个道理。
这个现象是扫描电镜的工作方式造成的,是与生俱来的问题。扫描电镜的图像是拼图,电子束的一个扫描点对应图像上一个像点,二者是一一对应的关系。使用低分辨率显示器的时候,多个像点落在一个显示器像素上,这个时候图像是清晰还是模糊?是“清晰”(参见18楼的结论a,我也同意这个说法),所以不能用这显示器分辨率来解释图像变模糊的现象。
现在都是数码记录,但是原理和用胶片没区别。拍数码照片的的时候都是有分辨率可选的,比如1024*1024,这个意思就是说纵横两个方向各扫描1024个点。按照上面的验证方法,用256*256拍照可能不清楚,但是用1024*1024就会变清楚,原因就是步长变小,扫描点排列更密集。这个时候显示的放大倍数意义不大,因为照片显示出来的时候肯定比CCD实际尺寸大很多,实际上在显示/打印的时候已经经过了一次放大,这个时候看标尺才比较有用。但是说这些就把后续放大的问题又扯进来了,有点跑题,暂且不说这个。
至于看照片时退后几步,那只是为了满足一下自己的眼睛,无损地拿到全部信息才是目的。客户觉得照片模糊,拿回去自己缩小一下尺寸就变清楚了,数码时代这个已经是基本技巧了。但是信息不全的照片可没办法把丢掉的东西找回来。
fengyonghe
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waydn1111
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小M
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fengyonghe
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有几个人说屏幕图像边长是100mm,为什么发上来的图片边长都是200mm?
fengyonghe
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我理解LZ说的是为什么两台扫描电镜工作距离相同而放大倍率不相同。我认为是扫描线圈的设计不同,各家有各家的设计。放大倍率以显示的为准。在验收时有一项是放大倍率校正。
fengyonghe
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我感到有人对有效放大倍率没弄清楚。如果10000倍是有效放大倍率,低于10000倍的都不叫做有效放大倍率。所有文献都是这么规定的。
julich
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建议您别就这个问题发言了,屏幕边长多少每家公司的技术人员都非常清楚,调查后再发言。另外,什么放大倍率以显示的为准,在验收时有一项是放大倍率校正,这个话也欠妥当。建议您查看一下验收报告,每个公司略有不一样,但是是畸变程度,而不是放大倍率验收!所谓畸变程度就是在待验收电镜上测量已知线宽的标准样品,测量值和标准值的差别要小于百分之十(大概,具体值每个公司不一样),当然你可以把这个当做是放大倍率校正,但是这个不是对放大倍率显示数值的校正,是对标尺的校正。
fengyonghe
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建议您别就这个问题发言了,屏幕边长多少每家公司的技术人员都非常清楚,调查后再发言。

一种不严谨的说法是,放大倍率=显示器边长/电子束扫描长度。由于显示器对图像的遮挡不同,这种算法不严谨。书上的算法是,实物放大后的长度/实物长度。

另外,什么放大倍率以显示的为准,在验收时有一项是放大倍率校正,这个话也欠妥当。建

放大倍率校正之后,工作中若不以显示为准那还能看哪里呀,你是看的那里你也不说出来?

扫描电镜验收其中有两项就是放大倍率和畸变。我们就是这样做的。

议您查看一下验收报告,每个公司略有不一样,但是是畸变程度,而不是放大倍率验收!所

谓畸变程度就是在待验收电镜上测量已知线宽的标准样品,测量值和标准值的差别要小于百

畸变我们不是用你那种方法验收的。验收方法看下面的示意图。下面的图左边是放大前的样品,右边是放大后图像,计算放大后的畸变量。你的那种方法是在忽悠人。


分之十(大概,具体值每个公司不一样),当然你可以把这个当做是放大倍率校正,但是这个不是对放大倍率显示数值的校正,是对标尺的校正。

显示的数值和标尺都是可以矫正的。
fengyonghe
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人眼的分辨率是0.2-0.3mm。对多数人短时间凝视可以达到0.2mm。但长时间工作不能维持这么高的分辨率,所以0.3还是合理的。更不能用0.1mm,那是显示屏荧光粉的分辨率。
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