快速导航采购仪器提醒

扫描电镜（SEM/EDS）

版主:

入住本版

专家:

仪器信息网

居民列表

仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

快速回复发表新帖最新帖

主题：【分享】ECCI-台式SEM的0.8纳米6HSiC台阶图像

浏览0 回复22 电梯直达

奔跑的蜗牛

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

发表于：2012/01/12 11:36:29 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

0
赞贴
22
回帖
0
收藏
0
拍砖
版主
招募

为您推荐

近期热榜

热门活动

专属顾问快速对接

获取验证码

立即提交

驰奔

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2012/1/12 12:18:52 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

安捷伦的那个台式SEM吧
图像不错，我觉得大型钨灯丝SEM在这个条件下恐怕也没这么好。

另外对您的标题看的不很明白，能够解释一下？

赞贴

拍砖

2012/1/12 12:54:39 Last edit by srd2009

驰奔

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2012/1/12 12:46:54 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

又看了一下这个Agilent 8500 FE-SEM资料，正好宣传册上也有这个样品。
这个0.8nm厚度的台阶，钨灯丝扫描电镜观察肯定也没问题。

本来这个装备开发的初衷要用在太空上的，不知道用在地球上，性价比如何？

赞贴

拍砖

2012/1/12 12:58:25 Last edit by srd2009

奔跑的蜗牛

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2012/1/12 13:48:38 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

ECCI就是electron channel contrast imaging，这个样品的台阶只有0.8nm，所以一般都是用AFM来观察，但是AFM观察对样品的尺寸限制比较麻烦，如果我们只想知道台阶的存在而不关心高度的话就可以用SEM来观察了，不过由于台阶梯度太小，所以很难得到衬度，所以目前为止，我还没看到过用钨灯丝电镜得到的结果，场发射从文献和会议报告来看，已经找到有CamScan, Zeiss两家的结果，CamScan的结果是大角度倾斜拍的，Zeiss是Ultra 的ESD顶探头拍到的，相关的文献：
Y.N. Picard et al, applied physics letters 90, 234101(2007)
B.A. Simkin et al, Ultramicroscopy 77 (1999) 65-75
Lawrence Muray et al, Microelectronic Engineering 86(2009)1004-1008
这两张图是在低加速电压下，用Topography模式才能得到，其机理和样品表面台阶形成时台阶边缘原子在点阵中的离域以及布洛赫波相位有关系。有兴趣的人可以查阅相关的文献。4HSiC,W，GaN，Si样品上都有类似的结果，有设备的人可以找样品试一试。

赞贴

拍砖

奔跑的蜗牛

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2012/1/12 13:52:03 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
安捷伦的那个台式SEM吧
图像不错，我觉得大型钨灯丝SEM在这个条件下恐怕也没这么好。

另外对您的标题看的不很明白，能够解释一下？

台阶之间的距离差不多160nm左右，钨灯丝电镜的分辨率使之无法达到这个清晰度，虽然是台式电镜，但还是场发射，分辨率会好很多也正常。

赞贴

拍砖

蓝莓口香糖

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2012/1/12 14:10:26 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

能解释一下topography模式什么意思吗？我怎么看着这几张图跟二次电子像没什么区别呢？

赞贴

拍砖

奔跑的蜗牛

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2012/1/12 14:17:35 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
能解释一下topography模式什么意思吗？我怎么看着这几张图跟二次电子像没什么区别呢？

呃，就是分割的背散射探头，A-B的模式

赞贴

拍砖

蓝莓口香糖

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2012/1/12 14:45:30 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

这种探头收集的信号跟通道电子没有关系呀。

赞贴

拍砖

驰奔

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2012/1/12 14:57:24 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 奔跑的蜗牛(chenjianfeng) 发表:
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
安捷伦的那个台式SEM吧
图像不错，我觉得大型钨灯丝SEM在这个条件下恐怕也没这么好。

另外对您的标题看的不很明白，能够解释一下？

台阶之间的距离差不多160nm左右，钨灯丝电镜的分辨率使之无法达到这个清晰度，虽然是台式电镜，但还是场发射，分辨率会好很多也正常。

是的，1KV的指标确实比当前大型钨灯丝的高。而且就用在1kv左右，很方便。

赞贴

拍砖