主题：【讨论】请教一下大家 小于1μm的物体能做面扫描么

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
1，
在相同的激发电压下，X-射线产生范围轻元素大约是重元素的1／１０。如果激发电压10千伏，轻元素的X-射线产生范围是1-2微米之间。样品中被测第二相的直径若小于1微米，不能做定量分析，但对面扫描结果要看被测颗粒的分布情况。如果被测颗粒的间距大于2微米，在10千伏或再低些的高压下，面扫描是可靠的。如果被测颗粒的间距太小，面扫描结果可以使两个或多个小颗粒合并为一个颗粒呈现出来。这时应进一步降低高压。
2,
在用模拟信号的扫描电镜中0.1mm是阴极射线管荧光粉的颗粒度，用它计算屏幕的（不是人眼的）有效放大倍率。束斑1nm，屏幕的有效放大倍率100000倍，再提高放大倍率不会有更多细节，但是可以使你看到更多细节，这是两个概念。这和用底片照一张100000倍的像，再放大3倍冲洗出来，使总放大倍率达到300000倍是一个道理。
在用数字信号成像的扫描电镜中，显示器的解析度是可以设定的，比如100mm的显示区域设定为1024×1024，分辨率为0.098mm≈0.1mm 。但是没有照相附件，只能获得电子图像。还是上面的道理，300000倍比100000能看到更多的细节。

原文由 0603050306(0603050306) 发表:
大概能谱的作用范围是较轻的元素是2微米 稍重的元素里是1微米（如果不对还请各位老师指出）
那么 小于1微米的物体能做面扫描么

另外请教一下各位老师现在扫描电镜一般分辨率在1nm

显微镜厂家一般以两点之间距离为0.1为标准来算放大倍数（好像日立 日本电子 蔡司大概都是这样 fei不知）
（液晶显示器点距一般在0.2-0.3之间）
那么  放大10w倍一般就到分辨率极限了（好像一般样品要做到1.0nm的分辨率不是很容易，电镜验收的样品对比度非常高
再放大是不是就意义不大了？

原文由 毒菇九剑(sshlxf) 发表:
你所说的能谱的作用范围2微米和2微米是指的是常规的加速电压，20KV左右的情况。如果你将加速电压降低，将显著提高能谱的空间分辨率。所以低电压下1微米以下的颗粒或相是可以做Mapping的。当然不同的样品效果可能会有差别，要根据实际情况调整分析条件。你可以把你的样品说的具体点。

原文由 0603050306(0603050306) 发表:
大概能谱的作用范围是较轻的元素是2微米 稍重的元素里是1微米（如果不对还请各位老师指出）
那么 小于1微米的物体能做面扫描么

另外请教一下各位老师现在扫描电镜一般分辨率在1nm

显微镜厂家一般以两点之间距离为0.1为标准来算放大倍数（好像日立 日本电子 蔡司大概都是这样 fei不知）
（液晶显示器点距一般在0.2-0.3之间）
那么  放大10w倍一般就到分辨率极限了（好像一般样品要做到1.0nm的分辨率不是很容易，电镜验收的样品对比度非常高
再放大是不是就意义不大了？

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
1，
在相同的激发电压下，X-射线产生范围轻元素大约是重元素的1／１０。如果激发电压10千伏，轻元素的X-射线产生范围是1-2微米之间。样品中被测第二相的直径若小于1微米，不能做定量分析，但对面扫描结果要看被测颗粒的分布情况。如果被测颗粒的间距大于2微米，在10千伏或再低些的高压下，面扫描是可靠的。如果被测颗粒的间距太小，面扫描结果可以使两个或多个小颗粒合并为一个颗粒呈现出来。这时应进一步降低高压。
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在用模拟信号的扫描电镜中0.1mm是阴极射线管荧光粉的颗粒度，用它计算屏幕的（不是人眼的）有效放大倍率。束斑1nm，屏幕的有效放大倍率100000倍，再提高放大倍率不会有更多细节，但是可以使你看到更多细节，这是两个概念。这和用底片照一张100000倍的像，再放大3倍冲洗出来，使总放大倍率达到300000倍是一个道理。
在用数字信号成像的扫描电镜中，显示器的解析度是可以设定的，比如100mm的显示区域设定为1024×1024，分辨率为0.098mm≈0.1mm 。但是没有照相附件，只能获得电子图像。还是上面的道理，300000倍比100000能看到更多的细节。