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主题：请教：做SEM时，样品老被打黑怎么回事？

浏览0 回复37 电梯直达
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dzxwj
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2006/6/26 21:55:00 21楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是热损伤所致。
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bluefleet
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2006/6/27 8:05:00 22楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们是高分子样品，经常遇到烧伤的问题，就是在聚焦时就打黑掉了。采用电压太低有些颗粒度很小又看不清晰。真不知道采取什么样的手段能更好的改善。
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p_ting
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2006/6/29 19:48:00 23楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是电子束把样品打坏了，这和样品有关，有的样品很容易打黑。
在高倍下比在低倍下更容易出现这个问题，高压时比低压时更容易出现这个问题。总之，同样的样品，打在单位面积上的电子能量越高，越容易被打黑。对容易打黑的样品，用低电压看高倍比较好，但是分辨率上不去。
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netasp
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2006/7/19 22:58:00 24楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
碳化，放小电流会好一点儿
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metamao
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2006/7/20 12:18:00 25楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我在高倍率回到低倍率情况下也遇到过类似情形
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zhengzujin
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2006/7/21 9:26:00 26楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一定要去掉枪偏压 ！！！
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2006/7/21 9:27:00 27楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一定要去掉枪偏压 ！！！
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zhengzujin
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2006/7/21 9:28:00 28楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还要调到零
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semuser
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2006/7/23 16:34:00 29楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
老兄，拜托一句话说完，不要大喘气。
钨灯丝才可以调枪偏压，场发射工程师才可以调。
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ylycat
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2006/7/24 9:09:00 30楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品稳定吗？
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