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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：如何提高SEM二次电子像的衬度和分辨率

浏览0 回复5 电梯直达

yuhongchun

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发表于：2005/11/21 21:16:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

有些样品，细节在大放大倍数下，特别是导电性不好，衬度很差

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2005/11/22 7:59:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 yuhongchun 发表:
有些样品，细节在大放大倍数下，特别是导电性不好，衬度很差

导电性差的样品看是否可以做镀层处理,如果可以的话再试着调一下Spot Size和降低WD。

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darkeye

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2005/11/24 17:19:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 yuhongchun 发表:
有些样品，细节在大放大倍数下，特别是导电性不好，衬度很差

在获得低倍图像的基础上，按照以下几个条件，就能得到高倍的图像，也就是体高分辨率。
1）加速电压不能很低，在20-30KV。
2）工作距离不能太大，一般在5-8mm，缩短探头接收信号的距离。
3）样品倾斜10-150，使二次电子发射及接收的多。
4）聚光镜放在600-650左右，（数值越大，束斑尺寸越小，分辨率越高）。
5）对中良好，保证电子束对中，信号强，亮度好。
6）灯丝饱和，使束流稳定，并使束流值在100-150。
7）物镜光阑合轴好（特征点在2000X倍以上时，基本同心聚焦散焦）。
8）消像散从低到高倍逐级消好。

以上操作摘自KYKY-2800B说明书，仅供参考。

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yuhongchun

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2005/11/24 18:29:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

非常感谢，
还想请问，提高图像衬度有什么方法？可能样品有多种情况：包括纳米样品，导电性差的样品，和普通样品。

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darkeye

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2005/11/25 11:13:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 yuhongchun 发表:
非常感谢，
还想请问，提高图像衬度有什么方法？可能样品有多种情况：包括纳米样品，导电性差的样品，和普通样品。

图象的衬度主要和样品有关系，如果样品是一个镜面，无论如何衬度不会高。
看样品的细节多少吧。
和制样有关，例如有的纳米粉末，100纳米以下，有的老师说用做透射样品的制样方法可以得到很好的效果，具体不得而知。
导电性差的样品，W灯丝最好用比较小的加速电压，10-15KV.
六硼化镧电子枪和场发射电子枪有低电压的优势，才能解决根本问题。

本人学识有限，还请高手指点吧！

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renxin

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2005/11/29 20:32:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 darkeye 发表:
原文由 yuhongchun 发表:
非常感谢，
还想请问，提高图像衬度有什么方法？可能样品有多种情况：包括纳米样品，导电性差的样品，和普通样品。

图象的衬度主要和样品有关系，如果样品是一个镜面，无论如何衬度不会高。
看样品的细节多少吧。
和制样有关，例如有的纳米粉末，100纳米以下，有的老师说用做透射样品的制样方法可以得到很好的效果，具体不得而知。
导电性差的样品，W灯丝最好用比较小的加速电压，10-15KV.
六硼化镧电子枪和场发射电子枪有低电压的优势，才能解决根本问题。

本人学识有限，还请高手指点吧！

讲得真好，不急不躁。
二次电子像的对比度是电镜最经典话题之一，每周一问里有详细讨论，请大家继续指教

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