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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【原创】请教减速功能的使用方法

浏览0 回复14 电梯直达

kapabulanka

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发表于：2007/11/09 12:19:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

近来要照一些绝缘样品，而且颗粒都比较小，不宜做喷金处理。想使用减速功能来拍照。不知使用什么样的减速电压比较合适。样品的绝缘性很好，并且表面很平，使用高的减速电压；如果样品的表面比较粗糙，则使用低减速电压。这种方法正确吗？

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2007/11/12 11:26:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

您说的应该是加速电压吧,如果您的样品不适合喷金又不导电可以降低加速电压来减少样品充电的影向.但跟你样品表面的粗糙度无关,低加速看的是比较表层的影像,高加速电压是比深的影像,你可以试试看用5或10kv来拍,取自己觉得满意的照片

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kapabulanka

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2007/11/13 16:56:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

减速功能利用的是阴极透镜原理。在样品台上加上负电压，在电子束落向样品表面的过程中，在相反的电场力作用下而被减速。打在样品上的电子着陆电压等于加速电压减减速电压。
在加速电压高时电子枪的亮度高，据说减速功能可已在低电压下获得较好的高电子枪的亮度，并且降低镜筒中的杂散磁场的影响。

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dongxian

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2007/11/15 11:54:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

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2007/11/15 12:12:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 kapabulanka 发表:
减速功能利用的是阴极透镜原理。在样品台上加上负电压，在电子束落向样品表面的过程中，在相反的电场力作用下而被减速。打在样品上的电子着陆电压等于加速电压减减速电压。
在加速电压高时电子枪的亮度高，据说减速功能可已在低电压下获得较好的高电子枪的亮度，并且降低镜筒中的杂散磁场的影响。

一看您就是日系的用户。
高加速电压有利于提高分辨率，但是高电压对样品有损伤或者容易产生荷电效应，再有就是版主提到的信号产生深度。
减速电压主要作用就是在分辨率和其他几者直接进行良好的结合！
PS：并不是所有的厂商都用到了样品台偏压。