主题:【求助】Thermofisher X Series 2 ICP-MS 分析室压力问题

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hxgcluoxia
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近日发现Thermofisher X Series 2 ICP-MS 抽真空时Ana压力为1.3×10-5,由shut down 状态过渡不到vacuum ready状态,工程师初步判定为漏气,不知各位遇到过这种情况没有,有经验的坛友给点建议,在此谢过!
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goblin
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真空泵吸力够没?看油是不是很脏了。
分之泵转速能上去不?
goblin
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检查真空泵各个管道连接处是否漏气。用胶布把采样锥封住看是否还抽不上真空,如果还是,那就是滑阀或者角阀问题。
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qihangxinxi
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有图有真相,直接上图:
上述现象有可能是扩散阀漏气,如图1处的密封圈皲裂而造成漏气,更换密封圈即可解决问题!要是滑阀的问题可就比较难拆了!
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