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主题：【求助】Thermofisher X Series 2 ICP-MS 分析室压力问题

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hxgcluoxia
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发表于：2012/04/23 10:30:14 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
近日发现Thermofisher X Series 2 ICP-MS 抽真空时Ana压力为1.3×10-5，由shut down 状态过渡不到vacuum ready状态，工程师初步判定为漏气，不知各位遇到过这种情况没有，有经验的坛友给点建议，在此谢过！
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2012/4/23 17:53:55 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空泵吸力够没？看油是不是很脏了。
分之泵转速能上去不？
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goblin
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2012/4/23 17:57:48 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查真空泵各个管道连接处是否漏气。用胶布把采样锥封住看是否还抽不上真空，如果还是，那就是滑阀或者角阀问题。
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qihangxinxi
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2012/4/24 11:42:11 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

有图有真相，直接上图：
上述现象有可能是扩散阀漏气，如图1处的密封圈皲裂而造成漏气，更换密封圈即可解决问题！要是滑阀的问题可就比较难拆了！
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