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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】求教喷金时间问题

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cui_wg

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发表于：2012/04/25 15:10:49 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

新买的扫描电镜，正在摸索使用，请教各位老师：
针对不同材料，如何调节离子溅射仪的电流和时间？
喷金的电流和时间与喷金的厚度有没有对应的关系，如电流20mA,时间60s，镀层厚度X纳米

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小M

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2012/4/25 21:31:14 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

有对应关系的，离子溅射仪的说明书上应该有，要么是曲线，要么是表格

参数没有硬性规定的，都是经验性的，可以摸索出一个一般值，没有具体要求，就用这个参数。如果有要厚点或者薄点，再根据具体情况调整。

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2012/4/25 21:32:44 Last edit by mitchell_dyzy

zhadaoan

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2012/4/26 15:57:55 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 cui_wg(cui_wg) 发表:
新买的扫描电镜，正在摸索使用，请教各位老师：
针对不同材料，如何调节离子溅射仪的电流和时间？
喷金的电流和时间与喷金的厚度有没有对应的关系，如电流20mA,时间60s，镀层厚度X纳米

有关系，还有真空度跟金的颗粒大小还有关系，如楼上所说，说明书上有相关曲线，可以看看，不过随着时间推移，会变得越来越不准，最终归还是要自己摸索。
另外得看是什么材料，我之前拍的是聚合物，比较软，孔隙率也比较高，当时采用的就是高真空，长时间镀的，效果还不错~~

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cui_wg

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2012/4/28 12:11:42 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

谢谢大家！！

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yangyouran

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2012/5/11 9:44:59 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

溅射仪的说明书上有溅射速率，你可以根据那个计算出喷金的厚度。一般以观察样品时不荷电为标准确定喷金厚度。平时我用日立的溅射仪喷金，金颗粒直径约4nm左右，若喷的较厚，在观察倍数达到5万倍以上时，可以清楚的看到金颗粒

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小M

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2012/5/12 16:21:36 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 yangyouran(yangyouran) 发表:
溅射仪的说明书上有溅射速率，你可以根据那个计算出喷金的厚度。一般以观察样品时不荷电为标准确定喷金厚度。平时我用日立的溅射仪喷金，金颗粒直径约4nm左右，若喷的较厚，在观察倍数达到5万倍以上时，可以清楚的看到金颗粒

有这样的图片吗？镀金之后高倍下能看到金颗粒的。

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unht

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2012/5/15 8:19:57 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

无万倍就可以看到金颗粒，你那金颗粒得多大啊

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ventyxu

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2012/5/18 11:41:27 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 cui_wg(cui_wg) 发表:
新买的扫描电镜，正在摸索使用，请教各位老师：
针对不同材料，如何调节离子溅射仪的电流和时间？
喷金的电流和时间与喷金的厚度有没有对应的关系，如电流20mA,时间60s，镀层厚度X纳米

电流和时间都可以设置，喷金的电流和时间与喷金的厚度有关系。说明书上面有详细的资料。

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eric7316

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2012/8/1 15:34:22 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

一般来说，用于扫描样品时金属的厚度为100-300A，经验的厚度测定由下面的公式得到：
d=KIVt
其中d是以“埃”为单位的镀膜厚度。
K是常数，取决于溅射金属和所充气体，此时靶与样品之间的距离大约是5cm。
I是等离子流的单位mA。
V是以“kV”为单位所施电压。
t是以秒为单位的时间。
采用金靶和氩气时K为0.17，如用空气K为0.07.因此对于典型的溅射，如：I为8mA，t为100秒，则：d=KIVt=0.17*8*100=136A，即每秒1.36A。

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irfan

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2013/4/23 18:18:59 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

K is constant, but i am confuse about "the distance between the target and the sample is about 5cm". Can u give me more detail about K constant and V (kV) units os applied voltage.

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